Vše

Co hledáte?

Vše
Projekty
Výsledky výzkumu
Subjekty

Rychlé hledání

  • Projekty podpořené TA ČR
  • Významné projekty
  • Projekty s nejvyšší státní podporou
  • Aktuálně běžící projekty

Chytré vyhledávání

  • Takto najdu konkrétní +slovo
  • Takto z výsledků -slovo zcela vynechám
  • “Takto můžu najít celou frázi”

Mikrostrukturování povrchu organických polymerů přímým fotoleptáním s využitím laserového plazmatu jako rtg zdroje

Identifikátory výsledku

  • Kód výsledku v IS VaVaI

    <a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68378271%3A_____%2F04%3A00100716" target="_blank" >RIV/68378271:_____/04:00100716 - isvavai.cz</a>

  • Výsledek na webu

  • DOI - Digital Object Identifier

Alternativní jazyky

  • Jazyk výsledku

    angličtina

  • Název v původním jazyce

    Micromaching of organic polymers by direct photo-etching using a laser plasma X-ray source

  • Popis výsledku v původním jazyce

    The first experiments on direct photo-etching of organic polymers using a laser plasma X-ray source based on a laser-irradiated gas puff target are presented. The results show relatively high efficiency of X-ray direct photo-etching that could be used for micromaching of organic polymers

  • Název v anglickém jazyce

    Micromaching of organic polymers by direct photo-etching using a laser plasma X-ray source

  • Popis výsledku anglicky

    The first experiments on direct photo-etching of organic polymers using a laser plasma X-ray source based on a laser-irradiated gas puff target are presented. The results show relatively high efficiency of X-ray direct photo-etching that could be used for micromaching of organic polymers

Klasifikace

  • Druh

    J<sub>x</sub> - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)

  • CEP obor

    BH - Optika, masery a lasery

  • OECD FORD obor

Návaznosti výsledku

  • Projekt

    <a href="/cs/project/KSK2043105" target="_blank" >KSK2043105: Procesy v plazmatu a interakce záření s hmotou</a><br>

  • Návaznosti

    P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Ostatní

  • Rok uplatnění

    2004

  • Kód důvěrnosti údajů

    S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Údaje specifické pro druh výsledku

  • Název periodika

    Microelectronic Engineering

  • ISSN

    0167-9317

  • e-ISSN

  • Svazek periodika

    73-74

  • Číslo periodika v rámci svazku

    -

  • Stát vydavatele periodika

    NL - Nizozemsko

  • Počet stran výsledku

    4

  • Strana od-do

    336-339

  • Kód UT WoS článku

  • EID výsledku v databázi Scopus