Mikrostrukturování povrchu organických polymerů přímým fotoleptáním s využitím laserového plazmatu jako rtg zdroje
Identifikátory výsledku
Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68378271%3A_____%2F04%3A00100716" target="_blank" >RIV/68378271:_____/04:00100716 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternativní jazyky
Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
Micromaching of organic polymers by direct photo-etching using a laser plasma X-ray source
Popis výsledku v původním jazyce
The first experiments on direct photo-etching of organic polymers using a laser plasma X-ray source based on a laser-irradiated gas puff target are presented. The results show relatively high efficiency of X-ray direct photo-etching that could be used for micromaching of organic polymers
Název v anglickém jazyce
Micromaching of organic polymers by direct photo-etching using a laser plasma X-ray source
Popis výsledku anglicky
The first experiments on direct photo-etching of organic polymers using a laser plasma X-ray source based on a laser-irradiated gas puff target are presented. The results show relatively high efficiency of X-ray direct photo-etching that could be used for micromaching of organic polymers
Klasifikace
Druh
J<sub>x</sub> - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)
CEP obor
BH - Optika, masery a lasery
OECD FORD obor
—
Návaznosti výsledku
Projekt
<a href="/cs/project/KSK2043105" target="_blank" >KSK2043105: Procesy v plazmatu a interakce záření s hmotou</a><br>
Návaznosti
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)
Ostatní
Rok uplatnění
2004
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Údaje specifické pro druh výsledku
Název periodika
Microelectronic Engineering
ISSN
0167-9317
e-ISSN
—
Svazek periodika
73-74
Číslo periodika v rámci svazku
-
Stát vydavatele periodika
NL - Nizozemsko
Počet stran výsledku
4
Strana od-do
336-339
Kód UT WoS článku
—
EID výsledku v databázi Scopus
—