Srovnání plazmatu v laserových a hybridních laser-magnetronových systémech pro přípravu SiC
Identifikátory výsledku
Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68378271%3A_____%2F07%3A00309732" target="_blank" >RIV/68378271:_____/07:00309732 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternativní jazyky
Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
A comparison of plasma in laser and hybrid laser-magnetron SiC deposition systems
Popis výsledku v původním jazyce
Time- and spatially resolved optical emission spectroscopy was performed to characterize the plasma produced in a pulsed laser deposition and a hybrid magnetron sputtering-pulsed laser deposition systems suitable for SiC thin films preparation.
Název v anglickém jazyce
A comparison of plasma in laser and hybrid laser-magnetron SiC deposition systems
Popis výsledku anglicky
Time- and spatially resolved optical emission spectroscopy was performed to characterize the plasma produced in a pulsed laser deposition and a hybrid magnetron sputtering-pulsed laser deposition systems suitable for SiC thin films preparation.
Klasifikace
Druh
J<sub>x</sub> - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)
CEP obor
BM - Fyzika pevných látek a magnetismus
OECD FORD obor
—
Návaznosti výsledku
Projekt
Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.
Návaznosti
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)<br>Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)
Ostatní
Rok uplatnění
2007
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Údaje specifické pro druh výsledku
Název periodika
Plasma Processes and Polymers
ISSN
1612-8850
e-ISSN
—
Svazek periodika
4
Číslo periodika v rámci svazku
-
Stát vydavatele periodika
DE - Spolková republika Německo
Počet stran výsledku
5
Strana od-do
"S1017"-"S1021"
Kód UT WoS článku
—
EID výsledku v databázi Scopus
—