Studium procesů v pulsním magnetronovém Ar/O2 plazmatu pomocí hmotnostní spektrometrie

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68378271%3A_____%2F08%3A00324133" target="_blank" >RIV/68378271:_____/08:00324133 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Study of processes in a pulsed magnetron Ar/O2 plasma by mass spectrometry

Popis výsledku v původním jazyce

We studied plasma processes during sputtering of aluminum target in a reactive oxygen/argon atmosphere in two radial positions. The partial pressure of oxygen was systematically changed keeping the total pressure constant (0.5 Pa). A whole target-poisoning cycle was analyzed with a special attention to unstable transition from dielectric to metallic mode. Our attention was focused to appearance of positive O+, O2+, Al +and AlO+ ions. In the radial direction in front of race-track we observed energetic negative ions of O-, O2- and weak ALO- while in the central position the negative ions disappeared. The transition from dielectric to metallic mode is followed by atomic oxygen ions decrease, while the molecular oxygen ions completely disappear from the spectra in the transition mode. The observed plasma behavior was assigned to a mechanism of the film formation.

Název v anglickém jazyce

Study of processes in a pulsed magnetron Ar/O2 plasma by mass spectrometry

Popis výsledku anglicky

We studied plasma processes during sputtering of aluminum target in a reactive oxygen/argon atmosphere in two radial positions. The partial pressure of oxygen was systematically changed keeping the total pressure constant (0.5 Pa). A whole target-poisoning cycle was analyzed with a special attention to unstable transition from dielectric to metallic mode. Our attention was focused to appearance of positive O+, O2+, Al +and AlO+ ions. In the radial direction in front of race-track we observed energetic negative ions of O-, O2- and weak ALO- while in the central position the negative ions disappeared. The transition from dielectric to metallic mode is followed by atomic oxygen ions decrease, while the molecular oxygen ions completely disappear from the spectra in the transition mode. The observed plasma behavior was assigned to a mechanism of the film formation.

Druh

D - Stať ve sborníku

CEP obor

BM - Fyzika pevných látek a magnetismus

OECD FORD obor

—

Projekt

<a href="/cs/project/KAN400100653" target="_blank" >KAN400100653: Samoorganizované magnetické nanostruktury</a><br>

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)<br>Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Rok uplatnění

2008

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název statě ve sborníku

35th EPS Conference on Plasma Physics ? Contributed papers

ISBN

2-914771-52-5

ISSN

—

e-ISSN

—

Počet stran výsledku

4

Strana od-do

—

Název nakladatele

European Physical Society

Místo vydání

Paris

Místo konání akce

Hersonissos

Datum konání akce

9. 6. 2008

Typ akce podle státní příslušnosti

WRD - Celosvětová akce

Kód UT WoS článku

—