Radiation damage to amorphous carbon thin films irradiated by multiple 46.9 nm laser shots below the single-shot damage threshold

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68378271%3A_____%2F09%3A00334101" target="_blank" >RIV/68378271:_____/09:00334101 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Radiation damage to amorphous carbon thin films irradiated by multiple 46.9 nm laser shots below the single-shot damage threshold

Popis výsledku v původním jazyce

High-surface-quality amorphous carbon (a-C) optical coatings with a thickness of 45 nm, deposited by magnetron sputtering on a silicon substrate, were irradiated by the 46.9 nm focused beam of capillary-discharge Ne-like Ar extreme ultraviolet laser. Ithas been found that an accumulation of 10, 20, and 40 shots at a fluence of 0.5 J/cm(2), i.e., below the single-shot damage threshold, causes irreversible changes of thin a-C layers, which can be registered by both the AFM and the DIC microscopy. In thecenter of the damaged area, AFM shows a-C removal to a maximum depth of 0.3, 1.2, and 1.5 nm for 10-, 20-and 40-shot exposure, respectively.

Název v anglickém jazyce

Radiation damage to amorphous carbon thin films irradiated by multiple 46.9 nm laser shots below the single-shot damage threshold

Popis výsledku anglicky

High-surface-quality amorphous carbon (a-C) optical coatings with a thickness of 45 nm, deposited by magnetron sputtering on a silicon substrate, were irradiated by the 46.9 nm focused beam of capillary-discharge Ne-like Ar extreme ultraviolet laser. Ithas been found that an accumulation of 10, 20, and 40 shots at a fluence of 0.5 J/cm(2), i.e., below the single-shot damage threshold, causes irreversible changes of thin a-C layers, which can be registered by both the AFM and the DIC microscopy. In thecenter of the damaged area, AFM shows a-C removal to a maximum depth of 0.3, 1.2, and 1.5 nm for 10-, 20-and 40-shot exposure, respectively.

Druh

J_x - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)

CEP obor

BH - Optika, masery a lasery

OECD FORD obor

—

Projekt

Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)<br>Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Rok uplatnění

2009

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název periodika

Journal of Applied Physics

ISSN

0021-8979

e-ISSN

—

Svazek periodika

105

Číslo periodika v rámci svazku

9

Stát vydavatele periodika

US - Spojené státy americké

Počet stran výsledku

6

Strana od-do

—

Kód UT WoS článku

000266263300018

EID výsledku v databázi Scopus

—