Poškození amorfního uhlíku zářením XUV laseru (46,9 nm) mnoha pulzy pod prahem poškození jedním impulzem

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68378271%3A_____%2F07%3A00086335" target="_blank" >RIV/68378271:_____/07:00086335 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Capillary-discharge 46.9-nm laser-induced damage to a-C thin films exposed to multiple laser shots below single-shot damage threshold

Popis výsledku v původním jazyce

High-surface-quality amorphous carbon (a-C) optical coatings with a thickness of 45 nm, deposited by magnetron sputtering on a silicon substrate were irradiated by the focused beam of capillary-discharge Ne-like Ar XUV laser (CDL). Investigating consequences of the multiple-shot exposure it has been found that an accumulation of 10, 20 and 40 shots at a fluence of 0.5 J/cm2, i.e., below the single-shot damage threshold, causes irreversible changes of a-C thin layer which can be registered by both the AFM and the DIC microscopy

Název v anglickém jazyce

Capillary-discharge 46.9-nm laser-induced damage to a-C thin films exposed to multiple laser shots below single-shot damage threshold

Popis výsledku anglicky

High-surface-quality amorphous carbon (a-C) optical coatings with a thickness of 45 nm, deposited by magnetron sputtering on a silicon substrate were irradiated by the focused beam of capillary-discharge Ne-like Ar XUV laser (CDL). Investigating consequences of the multiple-shot exposure it has been found that an accumulation of 10, 20 and 40 shots at a fluence of 0.5 J/cm2, i.e., below the single-shot damage threshold, causes irreversible changes of a-C thin layer which can be registered by both the AFM and the DIC microscopy

Druh

D - Stať ve sborníku

CEP obor

BH - Optika, masery a lasery

OECD FORD obor

—

Projekt

Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)<br>Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Rok uplatnění

2007

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název statě ve sborníku

Damage to VUV, EUV, and X-ray Optics

ISBN

978-0-8194-6714-0

ISSN

—

e-ISSN

—

Počet stran výsledku

7

Strana od-do

1-7

Název nakladatele

SPIE

Místo vydání

Bellingham

Místo konání akce

Prague

Datum konání akce

18. 4. 2007

Typ akce podle státní příslušnosti

WRD - Celosvětová akce

Kód UT WoS článku

—