Optical monitoring of nanocrystalline diamond with reduced non-diamond contamination

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68378271%3A_____%2F10%3A00355152" target="_blank" >RIV/68378271:_____/10:00355152 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Optical monitoring of nanocrystalline diamond with reduced non-diamond contamination

Popis výsledku v původním jazyce

Previously, the nanocrystalline grain boundaries were often contaminated by the ?non-diamond phase with the photo-ionization threshold at 0.8 eV. Here, we present the optical spectra of the NCD films grown on transparent substrates by the microwave plasma enhanced chemical vapor deposition (CVD) at a relatively low temperature below 600?C. The transmittance and reflectance spectra are useful to evaluate the film thickness, the surface roughness and the index of refraction. The direct measurement of theoptical absorptance by the laser calorimetry and photothermal deflection spectroscopy (PDS) provides high sensitive methods to measure the weak optical absorption of thin films with rough surface. The optical measurements indicate the high optical transparency of our standard, nominally undoped 0.2-0.3 ?m thick NCD film with low non-diamond content. However, the optical scattering is rather high in UV and needs to be reduced.

Název v anglickém jazyce

Optical monitoring of nanocrystalline diamond with reduced non-diamond contamination

Popis výsledku anglicky

Previously, the nanocrystalline grain boundaries were often contaminated by the ?non-diamond phase with the photo-ionization threshold at 0.8 eV. Here, we present the optical spectra of the NCD films grown on transparent substrates by the microwave plasma enhanced chemical vapor deposition (CVD) at a relatively low temperature below 600?C. The transmittance and reflectance spectra are useful to evaluate the film thickness, the surface roughness and the index of refraction. The direct measurement of theoptical absorptance by the laser calorimetry and photothermal deflection spectroscopy (PDS) provides high sensitive methods to measure the weak optical absorption of thin films with rough surface. The optical measurements indicate the high optical transparency of our standard, nominally undoped 0.2-0.3 ?m thick NCD film with low non-diamond content. However, the optical scattering is rather high in UV and needs to be reduced.

Druh

D - Stať ve sborníku

CEP obor

BM - Fyzika pevných látek a magnetismus

OECD FORD obor

—

Projekt

Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)<br>Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Rok uplatnění

2010

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název statě ve sborníku

Diamond Electronics and Bioelectronics - Fundamentals to Applications III

ISBN

978-1-60511-176-6

ISSN

—

e-ISSN

—

Počet stran výsledku

6

Strana od-do

—

Název nakladatele

Materials Research Society

Místo vydání

Warrendale, PA

Místo konání akce

Boston

Datum konání akce

30. 11. 2009

Typ akce podle státní příslušnosti

WRD - Celosvětová akce

Kód UT WoS článku

—