Structuring of diamond films by reactive ion plasma etching
Identifikátory výsledku
Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68378271%3A_____%2F12%3A00389420" target="_blank" >RIV/68378271:_____/12:00389420 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternativní jazyky
Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
Structuring of diamond films by reactive ion plasma etching
Popis výsledku v původním jazyce
In this study, two common strategies of diamond film structuring are described. Main focus is on the comparison of top-down and the bottom-up strategies. The top-down strategy is primary related to dry reactive ion etching through masking materials (or even without mask), while bottom-up strategy is based on selective area deposition of diamond film. Several methods of both strategies are demonstrated in details in the article, regarding to their properties and basic principles.
Název v anglickém jazyce
Structuring of diamond films by reactive ion plasma etching
Popis výsledku anglicky
In this study, two common strategies of diamond film structuring are described. Main focus is on the comparison of top-down and the bottom-up strategies. The top-down strategy is primary related to dry reactive ion etching through masking materials (or even without mask), while bottom-up strategy is based on selective area deposition of diamond film. Several methods of both strategies are demonstrated in details in the article, regarding to their properties and basic principles.
Klasifikace
Druh
D - Stať ve sborníku
CEP obor
BM - Fyzika pevných látek a magnetismus
OECD FORD obor
—
Návaznosti výsledku
Projekt
Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.
Návaznosti
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)<br>Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)
Ostatní
Rok uplatnění
2012
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Údaje specifické pro druh výsledku
Název statě ve sborníku
Nanomateriály a nanotechnologie ve stavebnictví 2012 (NaNS 2012)
ISBN
978-80-01-05132-0
ISSN
—
e-ISSN
—
Počet stran výsledku
6
Strana od-do
35-40
Název nakladatele
ČVUT
Místo vydání
Praha
Místo konání akce
Praha
Datum konání akce
11. 9. 2012
Typ akce podle státní příslušnosti
CST - Celostátní akce
Kód UT WoS článku
—