Low temperature diamond growth
Identifikátory výsledku
Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68378271%3A_____%2F14%3A00432021" target="_blank" >RIV/68378271:_____/14:00432021 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
<a href="http://dx.doi.org/10.1039/9781849737616-00290" target="_blank" >http://dx.doi.org/10.1039/9781849737616-00290</a>
DOI - Digital Object Identifier
<a href="http://dx.doi.org/10.1039/9781849737616-00290" target="_blank" >10.1039/9781849737616-00290</a>
Alternativní jazyky
Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
Low temperature diamond growth
Popis výsledku v původním jazyce
The present chapter focuses on the low temperature diamond growth from technological and practical point of view. The LTDG process is divided in two strategies based i) on the modification of the deposition systems and ii) on the change of gas chemistry.State of the art of each strategy and involved fundamental growth processes are reviewed. Among the discussed diamond growth processes, microwave surface wave plasma in linear antenna configuration with oxygen containing gas mixture is shown as the mostpromising process for the LTDG over large areas with high optical and electronic grade material. The growth phenomena observed in the linear antenna microwave plasma provide a simple way to control nano- and poly-crystalline diamond character. A practical comparison between focused and linear antenna microwave plasma is presented on several key studies which utilize the LTDG on amorphous silicon, glass, germanium and optical elements used for IR spectroscopy.
Název v anglickém jazyce
Low temperature diamond growth
Popis výsledku anglicky
The present chapter focuses on the low temperature diamond growth from technological and practical point of view. The LTDG process is divided in two strategies based i) on the modification of the deposition systems and ii) on the change of gas chemistry.State of the art of each strategy and involved fundamental growth processes are reviewed. Among the discussed diamond growth processes, microwave surface wave plasma in linear antenna configuration with oxygen containing gas mixture is shown as the mostpromising process for the LTDG over large areas with high optical and electronic grade material. The growth phenomena observed in the linear antenna microwave plasma provide a simple way to control nano- and poly-crystalline diamond character. A practical comparison between focused and linear antenna microwave plasma is presented on several key studies which utilize the LTDG on amorphous silicon, glass, germanium and optical elements used for IR spectroscopy.
Klasifikace
Druh
C - Kapitola v odborné knize
CEP obor
BM - Fyzika pevných látek a magnetismus
OECD FORD obor
—
Návaznosti výsledku
Projekt
<a href="/cs/project/GBP108%2F12%2FG108" target="_blank" >GBP108/12/G108: Příprava, modifikace a charakterizace materiálů zářením</a><br>
Návaznosti
I - Institucionalni podpora na dlouhodoby koncepcni rozvoj vyzkumne organizace
Ostatní
Rok uplatnění
2014
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Údaje specifické pro druh výsledku
Název knihy nebo sborníku
Nanodiamond
ISBN
978-1-84973-639-8
Počet stran výsledku
53
Strana od-do
290-342
Počet stran knihy
530
Název nakladatele
The Royal Society of Chemistry
Místo vydání
Cambridge
Kód UT WoS kapitoly
—