Study on diamond films deposited by pulsed linear antenna microwave plasma chemical vapor deposition from H2/CH4/CO2/N2 gas chemistry

Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68378271%3A_____%2F13%3A00424202" target="_blank" >RIV/68378271:_____/13:00424202 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
—
DOI - Digital Object Identifier
—

Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
Study on diamond films deposited by pulsed linear antenna microwave plasma chemical vapor deposition from H2/CH4/CO2/N2 gas chemistry
Popis výsledku v původním jazyce
In this contribution we focused on the detailed study of diamond films grown by pulsed linear antenna microwave plasma chemical vapour deposition from the N2/H2/CH4/CO2 process gas mixture at different concentrations. The changes observed in the plasma chemistry and growth kinetics were discussed.
Název v anglickém jazyce
Study on diamond films deposited by pulsed linear antenna microwave plasma chemical vapor deposition from H2/CH4/CO2/N2 gas chemistry
Popis výsledku anglicky
In this contribution we focused on the detailed study of diamond films grown by pulsed linear antenna microwave plasma chemical vapour deposition from the N2/H2/CH4/CO2 process gas mixture at different concentrations. The changes observed in the plasma chemistry and growth kinetics were discussed.

Projekt
<a href="/cs/project/GBP108%2F12%2FG108" target="_blank" >GBP108/12/G108: Příprava, modifikace a charakterizace materiálů zářením</a><br>
Návaznosti
I - Institucionalni podpora na dlouhodoby koncepcni rozvoj vyzkumne organizace

Rok uplatnění
2013
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Podobné výsledky(10)