Optimalizovaný surfatronový plazmový zdroj pro PE-ALD systém

Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68378271%3A_____%2F20%3A00537056" target="_blank" >RIV/68378271:_____/20:00537056 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
—
DOI - Digital Object Identifier
—

Jazyk výsledku
čeština
Název v původním jazyce
Optimalizovaný surfatronový plazmový zdroj pro PE-ALD systém
Popis výsledku v původním jazyce
V rámci řešení projektu TAČR jsme vyvinuli a implementovali mikrovlnný tryskový zdroj plazmatu ve dvou uspořádáních nazývaný surfatron vhodný pro použití v MinimalFab systému. Charakterizace generovaného plazmatu prokázala, že surfatronový zdroj plazmatu je schopný generovat nízkoteplotní plazma v rozsahu tlaků 1 Pa až 200 Pa. Dále pak lze provozovat plazmový zdroj v čistém inertním plynu, kyslíku, dusíku nebo jejich směsích.
Název v anglickém jazyce
Optimized surfatron plasma source for PE-ALD deposition system
Popis výsledku anglicky
Within the TAČR project, we developed and implemented a microwave plasma-jet source in two configurations called a surfatron suitable for use in the Minimal Fab system. Characterization of the generated plasma showed that the surfatron plasma source is able to generate low-temperature plasma in the pressure range of 1 Pa to 200 Pa. Furthermore, the plasma source can be operated in pure inert gas, oxygen, nitrogen or mixtures thereof.

Projekt
<a href="/cs/project/TM01000039" target="_blank" >TM01000039: Minimal Fab design systému depozice po atomárních vrstvách</a><br>
Návaznosti
I - Institucionalni podpora na dlouhodoby koncepcni rozvoj vyzkumne organizace

Rok uplatnění
2020
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Interní identifikační kód produktu
FVMF1/FZU/2020
Číselná identifikace
FVMF1/FZU/2020
Technické parametry
Vnější průměr křemenné trubičky: 6 mm, vnitřní průměr křemenné trubičky: 4 mm, výstupní tryska: kónická tryska, typ surfatron: mosazný rezonátor typu SAIREM s integrovanou přizpůsobovací jednotkou.
Ekonomické parametry
Laboratorní zařízení nezbytné pro další aplikovaný výzkum
Kategorie aplik. výsledku dle nákladů
—
IČO vlastníka výsledku
68378271
Název vlastníka
Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.
Stát vlastníka
CZ - Česká republika
Druh možnosti využití
P - Využití výsledku jiným subjektem je v některých případech možné bez nabytí licence
Požadavek na licenční poplatek
Z - Poskytovatel licence na výsledek nepožaduje v některých případech licenční poplatek
Adresa www stránky s výsledkem
—

Podobné výsledky(10)