Diagnostics of Surfatron-generated Plasma in PE-ALD Deposition System

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216208%3A11320%2F20%3A10423647" target="_blank" >RIV/00216208:11320/20:10423647 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

<a href="https://www.mff.cuni.cz/veda/konference/wds/proc/pdf20/WDS20_15_f2_Kapran.pdf" target="_blank" >https://www.mff.cuni.cz/veda/konference/wds/proc/pdf20/WDS20_15_f2_Kapran.pdf</a>

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Diagnostics of Surfatron-generated Plasma in PE-ALD Deposition System

Popis výsledku v původním jazyce

We present the diagnostic results of surfatron-generated plasma at different experimental conditions: chamber pressure, distance between the RF probe and the nozzle exit. The surfatron is a microwave plasma source for the ignition of surfacewave-sustained discharges. We used commercial surfatron (Sairem) and microwave generator with the maximum power of 1200 W. The characteristics of the generated plasma showed that the surfatron plasma source can generate low-temperature plasma in pressure ranging from 1 Pa up to 200 Pa. Mixtures of Ar (carrier gas), N2 and O2 (reactive gases) were used. The diagnostics of plasma was performed by means of Sobolewski probe measurement and optical emission spectroscopy.

Název v anglickém jazyce

Diagnostics of Surfatron-generated Plasma in PE-ALD Deposition System

Popis výsledku anglicky

We present the diagnostic results of surfatron-generated plasma at different experimental conditions: chamber pressure, distance between the RF probe and the nozzle exit. The surfatron is a microwave plasma source for the ignition of surfacewave-sustained discharges. We used commercial surfatron (Sairem) and microwave generator with the maximum power of 1200 W. The characteristics of the generated plasma showed that the surfatron plasma source can generate low-temperature plasma in pressure ranging from 1 Pa up to 200 Pa. Mixtures of Ar (carrier gas), N2 and O2 (reactive gases) were used. The diagnostics of plasma was performed by means of Sobolewski probe measurement and optical emission spectroscopy.

Druh

D - Stať ve sborníku

CEP obor

—

OECD FORD obor

10305 - Fluids and plasma physics (including surface physics)

Projekt

<a href="/cs/project/GA19-00579S" target="_blank" >GA19-00579S: Pokročilá diagnostika reaktivního HiPIMS plazmatu pro depozici oxidových, nitridových a sulfidových vrstev</a><br>

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Rok uplatnění

2020

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název statě ve sborníku

WDS&apos;20 Proceedings of Contributed Papers — Physics

ISBN

978-80-7378-435-5

ISSN

—

e-ISSN

—

Počet stran výsledku

6

Strana od-do

100-105

Název nakladatele

Matfyzpress

Místo vydání

Praha

Místo konání akce

Praha/ZOOM

Datum konání akce

22. 9. 2020

Typ akce podle státní příslušnosti

EUR - Evropská akce

Kód UT WoS článku

—