Srovnávací diagnostika Ar a He surfatronem generované plazmy pomocí otické emisní spektroskopie a mľťení sondou.

Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F46747885%3A24210%2F04%3A24210196" target="_blank" >RIV/46747885:24210/04:24210196 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
—
DOI - Digital Object Identifier
—

Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
Comparative diagnostics of Ar and He surfatron generated plasma by meaes of optical emission spectroscopy and probe measurement.
Popis výsledku v původním jazyce
The article is focused on comparative disagnostics of microwave plasmas, generated by surfatron, where Ar and He are used as a reactive gas.The diagnosedmicrowave-driven oplasma source consists of a surfatron powered by a microwave magnetron generator ,working at frequency 2,45 GHz in the output power range 0-300 W, which creates plasma from the flowing working gas in a quartz nozzle.
Název v anglickém jazyce
Comparative diagnostics of Ar and He surfatron generated plasma by meaes of optical emission spectroscopy and probe measurement.
Popis výsledku anglicky
The article is focused on comparative disagnostics of microwave plasmas, generated by surfatron, where Ar and He are used as a reactive gas.The diagnosedmicrowave-driven oplasma source consists of a surfatron powered by a microwave magnetron generator ,working at frequency 2,45 GHz in the output power range 0-300 W, which creates plasma from the flowing working gas in a quartz nozzle.

Projekt
<a href="/cs/project/OC%20527.60" target="_blank" >OC 527.60: Studium vlivu typu výboje na vlastnosti deponovaných vrstev</a><br>
Návaznosti
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Rok uplatnění
2004
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Podobné výsledky(10)