Growth of carbon allotropes and plasma characterization in linear antenna microwave plasma CVD system
Identifikátory výsledku
Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68378271%3A_____%2F14%3A00432261" target="_blank" >RIV/68378271:_____/14:00432261 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
<a href="http://dx.doi.org/10.7567/JJAP.53.05FP04" target="_blank" >http://dx.doi.org/10.7567/JJAP.53.05FP04</a>
DOI - Digital Object Identifier
<a href="http://dx.doi.org/10.7567/JJAP.53.05FP04" target="_blank" >10.7567/JJAP.53.05FP04</a>
Alternativní jazyky
Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
Growth of carbon allotropes and plasma characterization in linear antenna microwave plasma CVD system
Popis výsledku v původním jazyce
Growth of diamond coatings with tunable morphology and concurrent substrate catalyst pretreatment and further growth of carbon nanotubes were studied. The dependence of plasma parameters on gas composition was studied by Langmuir probe measurement. Growndiamond coatings and carbon nanotubes were characterized by scanning electron microscopy and Raman spectroscopy and correlated with process parameters. Well-defined nanocrystalline, polycrystalline, and porous diamond films were prepared. Concurrent substrate catalyst pretreatment and further growth of carbon nanotubes were shown.
Název v anglickém jazyce
Growth of carbon allotropes and plasma characterization in linear antenna microwave plasma CVD system
Popis výsledku anglicky
Growth of diamond coatings with tunable morphology and concurrent substrate catalyst pretreatment and further growth of carbon nanotubes were studied. The dependence of plasma parameters on gas composition was studied by Langmuir probe measurement. Growndiamond coatings and carbon nanotubes were characterized by scanning electron microscopy and Raman spectroscopy and correlated with process parameters. Well-defined nanocrystalline, polycrystalline, and porous diamond films were prepared. Concurrent substrate catalyst pretreatment and further growth of carbon nanotubes were shown.
Klasifikace
Druh
J<sub>x</sub> - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)
CEP obor
BL - Fyzika plasmatu a výboje v plynech
OECD FORD obor
—
Návaznosti výsledku
Projekt
Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.
Návaznosti
I - Institucionalni podpora na dlouhodoby koncepcni rozvoj vyzkumne organizace
Ostatní
Rok uplatnění
2014
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Údaje specifické pro druh výsledku
Název periodika
Japanese Journal of Applied Physics
ISSN
0021-4922
e-ISSN
—
Svazek periodika
53
Číslo periodika v rámci svazku
5
Stát vydavatele periodika
JP - Japonsko
Počet stran výsledku
3
Strana od-do
"05FP04-1"-"05FP04-3"
Kód UT WoS článku
000338316200114
EID výsledku v databázi Scopus
—