Pulsed linear antenna microwave plasma ? a step ahead in large area material depositions and surface functionalization

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68378271%3A_____%2F11%3A00374830" target="_blank" >RIV/68378271:_____/11:00374830 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Pulsed linear antenna microwave plasma ? a step ahead in large area material depositions and surface functionalization

Popis výsledku v původním jazyce

A technological progress in the large area growth of diamond films and carbon nanotubes by the modified linear antenna MW system is presented. We show a correlation between process parameters and nano- or poly-crystalline film character. A challenging part, diamond coated mirrors or ATR prisms, are shown as multifunctional optical elements suitable for detection of absorbed molecules. Additional positive feature of the presented plasma system is low temperature hydrogen functionalization of diamond films. Finally, we present that combination of pulsed MW plasma with radiofrequency substrate biasing results in growth of oriented CNTs over large area.

Název v anglickém jazyce

Pulsed linear antenna microwave plasma ? a step ahead in large area material depositions and surface functionalization

Popis výsledku anglicky

A technological progress in the large area growth of diamond films and carbon nanotubes by the modified linear antenna MW system is presented. We show a correlation between process parameters and nano- or poly-crystalline film character. A challenging part, diamond coated mirrors or ATR prisms, are shown as multifunctional optical elements suitable for detection of absorbed molecules. Additional positive feature of the presented plasma system is low temperature hydrogen functionalization of diamond films. Finally, we present that combination of pulsed MW plasma with radiofrequency substrate biasing results in growth of oriented CNTs over large area.

Druh

D - Stať ve sborníku

CEP obor

BM - Fyzika pevných látek a magnetismus

OECD FORD obor

—

Projekt

Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)<br>Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Rok uplatnění

2011

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název statě ve sborníku

NANOCON 2011. Conference proceedings

ISBN

978-80-87294-27-7

ISSN

—

e-ISSN

—

Počet stran výsledku

9

Strana od-do

271-279

Název nakladatele

Tanger Ltd

Místo vydání

Ostrava

Místo konání akce

Brno

Datum konání akce

21. 9. 2011

Typ akce podle státní příslušnosti

WRD - Celosvětová akce

Kód UT WoS článku

—