Surface wave plasma ? attractive solution for industrial uses

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68378271%3A_____%2F14%3A00434339" target="_blank" >RIV/68378271:_____/14:00434339 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Surface wave plasma ? attractive solution for industrial uses

Popis výsledku v původním jazyce

This work presents the low temperature oxygen and hydrogen termination of diamond films by surface wave discharge reactor. The influence of the low temperature plasma treatment and process time on the wettability and/ or surface resistivity of the diamond films have been studied. The results indicate that a temperature as low as 250°C is sufficient to induce hydrogen-terminated conductive surface of the order of 108 ?. An increase in substrate temperature up to 400°C results in decrease of resistivity up to 5106 ?.

Název v anglickém jazyce

Surface wave plasma ? attractive solution for industrial uses

Popis výsledku anglicky

This work presents the low temperature oxygen and hydrogen termination of diamond films by surface wave discharge reactor. The influence of the low temperature plasma treatment and process time on the wettability and/ or surface resistivity of the diamond films have been studied. The results indicate that a temperature as low as 250°C is sufficient to induce hydrogen-terminated conductive surface of the order of 108 ?. An increase in substrate temperature up to 400°C results in decrease of resistivity up to 5106 ?.

Druh

D - Stať ve sborníku

CEP obor

BM - Fyzika pevných látek a magnetismus

OECD FORD obor

—

Projekt

<a href="/cs/project/TA01011740" target="_blank" >TA01011740: Nízkoteplotní hybridní mikrovlnné plazmové zdroje s vysokým stupněm ionizace uspořádaných v matricové konfiguraci umožňujících depozice perspektivných materiálů a jejich (nano) kompozitů na 2D a 3D objekty</a><br>

Návaznosti

I - Institucionalni podpora na dlouhodoby koncepcni rozvoj vyzkumne organizace

Rok uplatnění

2014

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název statě ve sborníku

Material analysis in vacuum

ISBN

978-80-971179-4-8

ISSN

—

e-ISSN

—

Počet stran výsledku

5

Strana od-do

129-133

Název nakladatele

Slovenská vákuová spoločnosť

Místo vydání

Bratislava

Místo konání akce

Štrbské Pleso

Datum konání akce

2. 10. 2014

Typ akce podle státní příslušnosti

EUR - Evropská akce

Kód UT WoS článku

—