Investigation of ionized metal flux in enhanced high power impulse magnetron sputtering discharges
Identifikátory výsledku
Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68378271%3A_____%2F14%3A00439381" target="_blank" >RIV/68378271:_____/14:00439381 - isvavai.cz</a>
Nalezeny alternativní kódy
RIV/60076658:12310/14:43887082 RIV/00216208:11320/14:10392145
Výsledek na webu
<a href="http://dx.doi.org/10.1063/1.4871635" target="_blank" >http://dx.doi.org/10.1063/1.4871635</a>
DOI - Digital Object Identifier
<a href="http://dx.doi.org/10.1063/1.4871635" target="_blank" >10.1063/1.4871635</a>
Alternativní jazyky
Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
Investigation of ionized metal flux in enhanced high power impulse magnetron sputtering discharges
Popis výsledku v původním jazyce
The metal ionized flux fraction and production of double charged metal ions Me2? of different materials (Al, Cu, Fe, Ti) by High Power Impulse Magnetron Sputtering (HiPIMS) operated with and without a pre-ionization assistance is compared in the paper. The Electron Cyclotron Wave Resonance (ECWR) discharge was employed as the pre-ionization agent providing a seed of charge in the idle time of HiPIMS pulses. A modified grid-free biased quartz crystal microbalance was used to estimate the metal ionized flux fraction n. The energy-resolved mass spectrometry served as a complementary method to distinguish particular ion contributions to the total ionized flux onto the substrate. The ratio between densities of doubly Me2? and singly Me? charged metal ions was determined. It is shown that ECWR assistance enhances Me2? production with respect of absorbed rf-power.
Název v anglickém jazyce
Investigation of ionized metal flux in enhanced high power impulse magnetron sputtering discharges
Popis výsledku anglicky
The metal ionized flux fraction and production of double charged metal ions Me2? of different materials (Al, Cu, Fe, Ti) by High Power Impulse Magnetron Sputtering (HiPIMS) operated with and without a pre-ionization assistance is compared in the paper. The Electron Cyclotron Wave Resonance (ECWR) discharge was employed as the pre-ionization agent providing a seed of charge in the idle time of HiPIMS pulses. A modified grid-free biased quartz crystal microbalance was used to estimate the metal ionized flux fraction n. The energy-resolved mass spectrometry served as a complementary method to distinguish particular ion contributions to the total ionized flux onto the substrate. The ratio between densities of doubly Me2? and singly Me? charged metal ions was determined. It is shown that ECWR assistance enhances Me2? production with respect of absorbed rf-power.
Klasifikace
Druh
J<sub>x</sub> - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)
CEP obor
BL - Fyzika plasmatu a výboje v plynech
OECD FORD obor
—
Návaznosti výsledku
Projekt
<a href="/cs/project/LH12043" target="_blank" >LH12043: Výzkum tenkých vrstev na bázi FeS2 pro fotonické aplikace</a><br>
Návaznosti
I - Institucionalni podpora na dlouhodoby koncepcni rozvoj vyzkumne organizace
Ostatní
Rok uplatnění
2014
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Údaje specifické pro druh výsledku
Název periodika
Journal of Applied Physics
ISSN
0021-8979
e-ISSN
—
Svazek periodika
115
Číslo periodika v rámci svazku
15
Stát vydavatele periodika
US - Spojené státy americké
Počet stran výsledku
7
Strana od-do
"153301-1"-"153301-7"
Kód UT WoS článku
000335227100006
EID výsledku v databázi Scopus
—