Evolution of laser-produced Sn extreme ultraviolet source diameter for high-brightness source

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68378271%3A_____%2F14%3A00441167" target="_blank" >RIV/68378271:_____/14:00441167 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

<a href="http://dx.doi.org/10.1063/1.4893611" target="_blank" >http://dx.doi.org/10.1063/1.4893611</a>

DOI - Digital Object Identifier

<a href="http://dx.doi.org/10.1063/1.4893611" target="_blank" >10.1063/1.4893611</a>

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Evolution of laser-produced Sn extreme ultraviolet source diameter for high-brightness source

Popis výsledku v původním jazyce

We have investigated the effect of irradiation of solid Sn targets with laser pulses of sub-ns duration and sub-mJ energy on the diameter of the extreme ultraviolet (EUV) emitting region and source conversion efficiency. It was found that an in-band EUVsource diameter as low as 18 lm was produced due to the short scale length of a plasma produced by a sub-ns laser. Most of the EUV emission occurs in a narrow region with a plasma density close to the critical density value. Such EUV sources are suitablefor high brightness and high repetition rate metrology applications.

Název v anglickém jazyce

Evolution of laser-produced Sn extreme ultraviolet source diameter for high-brightness source

Popis výsledku anglicky

We have investigated the effect of irradiation of solid Sn targets with laser pulses of sub-ns duration and sub-mJ energy on the diameter of the extreme ultraviolet (EUV) emitting region and source conversion efficiency. It was found that an in-band EUVsource diameter as low as 18 lm was produced due to the short scale length of a plasma produced by a sub-ns laser. Most of the EUV emission occurs in a narrow region with a plasma density close to the critical density value. Such EUV sources are suitablefor high brightness and high repetition rate metrology applications.

Druh

J_x - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)

CEP obor

BH - Optika, masery a lasery

OECD FORD obor

—

Projekt

Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.

Návaznosti

I - Institucionalni podpora na dlouhodoby koncepcni rozvoj vyzkumne organizace

Rok uplatnění

2014

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název periodika

Applied Physics Letters

ISSN

0003-6951

e-ISSN

—

Svazek periodika

105

Číslo periodika v rámci svazku

7

Stát vydavatele periodika

US - Spojené státy americké

Počet stran výsledku

4

Strana od-do

"074103-1"-"074103-4"

Kód UT WoS článku

000341189800113

EID výsledku v databázi Scopus

—