Vše

Co hledáte?

Vše
Projekty
Výsledky výzkumu
Subjekty

Rychlé hledání

  • Projekty podpořené TA ČR
  • Významné projekty
  • Projekty s nejvyšší státní podporou
  • Aktuálně běžící projekty

Chytré vyhledávání

  • Takto najdu konkrétní +slovo
  • Takto z výsledků -slovo zcela vynechám
  • “Takto můžu najít celou frázi”

Nanoscale Characterization of Ultra-thin Tungsten Films Deposited by Radio-Frequency Magnetron Sputtering

Identifikátory výsledku

  • Kód výsledku v IS VaVaI

    <a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68378271%3A_____%2F15%3A00447554" target="_blank" >RIV/68378271:_____/15:00447554 - isvavai.cz</a>

  • Nalezeny alternativní kódy

    RIV/68081731:_____/15:00447554

  • Výsledek na webu

  • DOI - Digital Object Identifier

Alternativní jazyky

  • Jazyk výsledku

    angličtina

  • Název v původním jazyce

    Nanoscale Characterization of Ultra-thin Tungsten Films Deposited by Radio-Frequency Magnetron Sputtering

  • Popis výsledku v původním jazyce

    In this article, atomic force microscopy was used for nanoscale characterization of ultra-zhin tungsten films wich were deposited on silicon substrate. Radio-frequency magnetron sputtering was used for tungsten deposition on the sueface.

  • Název v anglickém jazyce

    Nanoscale Characterization of Ultra-thin Tungsten Films Deposited by Radio-Frequency Magnetron Sputtering

  • Popis výsledku anglicky

    In this article, atomic force microscopy was used for nanoscale characterization of ultra-zhin tungsten films wich were deposited on silicon substrate. Radio-frequency magnetron sputtering was used for tungsten deposition on the sueface.

Klasifikace

  • Druh

    D - Stať ve sborníku

  • CEP obor

    JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika

  • OECD FORD obor

Návaznosti výsledku

  • Projekt

  • Návaznosti

    I - Institucionalni podpora na dlouhodoby koncepcni rozvoj vyzkumne organizace

Ostatní

  • Rok uplatnění

    2015

  • Kód důvěrnosti údajů

    S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Údaje specifické pro druh výsledku

  • Název statě ve sborníku

    IEEE NANO 2015 Proceedings. 15th International Conference on Nanotechnology

  • ISBN

    978-1-4673-8156-7

  • ISSN

  • e-ISSN

  • Počet stran výsledku

    4

  • Strana od-do

  • Název nakladatele

    IEEE

  • Místo vydání

    Danvers

  • Místo konání akce

    Rome

  • Datum konání akce

    27. 7. 2015

  • Typ akce podle státní příslušnosti

    WRD - Celosvětová akce

  • Kód UT WoS článku