Hybridní plazmová tryska s povrchovou vlnou pro buzení vysoce reaktivních výbojů

Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68378271%3A_____%2F15%3A00448124" target="_blank" >RIV/68378271:_____/15:00448124 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
<a href="https://isdv.upv.cz/doc/FullFiles/UtilityModels/FullDocuments/FDUM0028/uv028463.pdf" target="_blank" >https://isdv.upv.cz/doc/FullFiles/UtilityModels/FullDocuments/FDUM0028/uv028463.pdf</a>
DOI - Digital Object Identifier
—

Jazyk výsledku
čeština
Název v původním jazyce
Hybridní plazmová tryska s povrchovou vlnou pro buzení vysoce reaktivních výbojů
Popis výsledku v původním jazyce
Technické řešení spadá do oblasti generace nízkoteplotních plazmových výbojů za účelem jejich následného využití v technologických aplikacích. Jedná se zejména o depozice funkčních tenkých vrstev s využitím plazma chemických reakcí v aktivní zóně generovaného výboje. Oblast řešení je zaměřena na konstrukci plazmové trysky využívající pro buzení plazmatu povrchovou vlnu, která umožňuje generování výbojů s velkou koncentrací reaktivních plynů, např. O2, N2, H2, C2H2, CH4 a dalších, a to v širokém rozsahu tlaků.
Název v anglickém jazyce
Hybrid plasma nozzle with surface wave for exciting extremely reactive discharges
Popis výsledku anglicky
Technical solutions belong to area of generation of low-temperature plasma discharges for technological application. It is namely thin film deposition using plasma-chemical reaction in active area of generated discharge. Solution is focused on construction of plasma nozzle using surface wave for plasma excitation that enables generation of discharges with high concentration of reactive gases like O2, N2, H2, C2H2, CH4 and others in a wide range of pressure.

Projekt
Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.
Návaznosti
I - Institucionalni podpora na dlouhodoby koncepcni rozvoj vyzkumne organizace

Rok uplatnění
2015
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Číslo patentu nebo vzoru
28463
Vydavatel
CZ001 -
Název vydavatele
Industrial Property Office
Místo vydání
Prague
Stát vydání
CZ - Česká republika
Datum přijetí
—
Název vlastníka
Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i
Způsob využití
A - Výsledek využívá pouze poskytovatel
Druh možnosti využití
A - K využití výsledku jiným subjektem je vždy nutné nabytí licence

Podobné výsledky(10)