Vše

Co hledáte?

Vše
Projekty
Výsledky výzkumu
Subjekty

Rychlé hledání

  • Projekty podpořené TA ČR
  • Významné projekty
  • Projekty s nejvyšší státní podporou
  • Aktuálně běžící projekty

Chytré vyhledávání

  • Takto najdu konkrétní +slovo
  • Takto z výsledků -slovo zcela vynechám
  • “Takto můžu najít celou frázi”

A modified Katsumata probe - ion sensitive probe for measurement in non-magnetized plasmas

Identifikátory výsledku

  • Kód výsledku v IS VaVaI

    <a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68378271%3A_____%2F15%3A00449224" target="_blank" >RIV/68378271:_____/15:00449224 - isvavai.cz</a>

  • Nalezeny alternativní kódy

    RIV/61389021:_____/15:00449224

  • Výsledek na webu

    <a href="http://dx.doi.org/10.1063/1.4927169" target="_blank" >http://dx.doi.org/10.1063/1.4927169</a>

  • DOI - Digital Object Identifier

    <a href="http://dx.doi.org/10.1063/1.4927169" target="_blank" >10.1063/1.4927169</a>

Alternativní jazyky

  • Jazyk výsledku

    angličtina

  • Název v původním jazyce

    A modified Katsumata probe - ion sensitive probe for measurement in non-magnetized plasmas

  • Popis výsledku v původním jazyce

    A modified Katsumata probe has been developed for measurement of ion velocity distribution function (IVDF) in technological non-magnetized plasmas. A comparative study regarding IVDF measurement in a high power impulse magnetron sputtering system operating in pure argon atmosphere by means of developed modified Katsumata probe and commercially available gridded retarding field analyzer (RFA) has been carried out. A time-resolved measurement of IVDF for two different pressures whilst other plasma conditions have been kept unchanged has revealed that the main advantage of the modified Katsumata probe compared to the RFA consists in significantly smaller angular aperture of entrance orifice of modified Katsumata probe being approximately 15 in comparisonwith a commercial RFA having angular aperture more than 160. It leads in much better velocity resolution in measured IVDF since the transversal part of velocity vector is much more suppressed compared to RFA.

  • Název v anglickém jazyce

    A modified Katsumata probe - ion sensitive probe for measurement in non-magnetized plasmas

  • Popis výsledku anglicky

    A modified Katsumata probe has been developed for measurement of ion velocity distribution function (IVDF) in technological non-magnetized plasmas. A comparative study regarding IVDF measurement in a high power impulse magnetron sputtering system operating in pure argon atmosphere by means of developed modified Katsumata probe and commercially available gridded retarding field analyzer (RFA) has been carried out. A time-resolved measurement of IVDF for two different pressures whilst other plasma conditions have been kept unchanged has revealed that the main advantage of the modified Katsumata probe compared to the RFA consists in significantly smaller angular aperture of entrance orifice of modified Katsumata probe being approximately 15 in comparisonwith a commercial RFA having angular aperture more than 160. It leads in much better velocity resolution in measured IVDF since the transversal part of velocity vector is much more suppressed compared to RFA.

Klasifikace

  • Druh

    J<sub>x</sub> - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)

  • CEP obor

    BL - Fyzika plasmatu a výboje v plynech

  • OECD FORD obor

Návaznosti výsledku

  • Projekt

    <a href="/cs/project/LH12043" target="_blank" >LH12043: Výzkum tenkých vrstev na bázi FeS2 pro fotonické aplikace</a><br>

  • Návaznosti

    I - Institucionalni podpora na dlouhodoby koncepcni rozvoj vyzkumne organizace

Ostatní

  • Rok uplatnění

    2015

  • Kód důvěrnosti údajů

    S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Údaje specifické pro druh výsledku

  • Název periodika

    Review of Scientific Instruments

  • ISSN

    0034-6748

  • e-ISSN

  • Svazek periodika

    86

  • Číslo periodika v rámci svazku

    7

  • Stát vydavatele periodika

    US - Spojené státy americké

  • Počet stran výsledku

    7

  • Strana od-do

    "073510-1"-"073510-7"

  • Kód UT WoS článku

    000358934400048

  • EID výsledku v databázi Scopus

    2-s2.0-84937501327