Vše

Co hledáte?

Vše
Projekty
Výsledky výzkumu
Subjekty

Rychlé hledání

  • Projekty podpořené TA ČR
  • Významné projekty
  • Projekty s nejvyšší státní podporou
  • Aktuálně běžící projekty

Chytré vyhledávání

  • Takto najdu konkrétní +slovo
  • Takto z výsledků -slovo zcela vynechám
  • “Takto můžu najít celou frázi”

Angle-resolved investigation of ion dynamics in high power impulse magnetron sputtering deposition system

Identifikátory výsledku

  • Kód výsledku v IS VaVaI

    <a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68378271%3A_____%2F13%3A00421856" target="_blank" >RIV/68378271:_____/13:00421856 - isvavai.cz</a>

  • Výsledek na webu

    <a href="http://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S0040609013011127" target="_blank" >http://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S0040609013011127</a>

  • DOI - Digital Object Identifier

    <a href="http://dx.doi.org/10.1016/j.tsf.2013.06.061" target="_blank" >10.1016/j.tsf.2013.06.061</a>

Alternativní jazyky

  • Jazyk výsledku

    angličtina

  • Název v původním jazyce

    Angle-resolved investigation of ion dynamics in high power impulse magnetron sputtering deposition system

  • Popis výsledku v původním jazyce

    The high power impulse magnetron sputtering deposition system (HiPIMS) equipped with 5 cm in diameter titanium target has been investigated by means of time-resolved modified Katsumata probe. The probe allows for determination of the ion velocity distribution function. Compact construction of modified Katsumata probe allows us to place the probe in an arbitrary position with respect to planar magnetron. The present construction of modified Katsumata probe allows reaching the acceptance angle of about 15°. The ion velocity distribution function (IVDF) in forward direction is then directly proportional to the derivative of measured ion current with respect to the retarding potential. An angle-resolved study of HiPIMS system operating in the reactive atmosphere has been carried out. The effect of oxygen partial pressure on measured IVDF at different angles within the plasma pulse has been investigated.

  • Název v anglickém jazyce

    Angle-resolved investigation of ion dynamics in high power impulse magnetron sputtering deposition system

  • Popis výsledku anglicky

    The high power impulse magnetron sputtering deposition system (HiPIMS) equipped with 5 cm in diameter titanium target has been investigated by means of time-resolved modified Katsumata probe. The probe allows for determination of the ion velocity distribution function. Compact construction of modified Katsumata probe allows us to place the probe in an arbitrary position with respect to planar magnetron. The present construction of modified Katsumata probe allows reaching the acceptance angle of about 15°. The ion velocity distribution function (IVDF) in forward direction is then directly proportional to the derivative of measured ion current with respect to the retarding potential. An angle-resolved study of HiPIMS system operating in the reactive atmosphere has been carried out. The effect of oxygen partial pressure on measured IVDF at different angles within the plasma pulse has been investigated.

Klasifikace

  • Druh

    J<sub>x</sub> - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)

  • CEP obor

    BL - Fyzika plasmatu a výboje v plynech

  • OECD FORD obor

Návaznosti výsledku

  • Projekt

    <a href="/cs/project/LD12002" target="_blank" >LD12002: Výzkum hybridních HiPIMS systémů určených pro depozice nanostrukturovaných tenkých vrstev</a><br>

  • Návaznosti

    I - Institucionalni podpora na dlouhodoby koncepcni rozvoj vyzkumne organizace

Ostatní

  • Rok uplatnění

    2013

  • Kód důvěrnosti údajů

    S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Údaje specifické pro druh výsledku

  • Název periodika

    Thin Solid Films

  • ISSN

    0040-6090

  • e-ISSN

  • Svazek periodika

    549

  • Číslo periodika v rámci svazku

    DEC

  • Stát vydavatele periodika

    CH - Švýcarská konfederace

  • Počet stran výsledku

    7

  • Strana od-do

    177-183

  • Kód UT WoS článku

    000327537100033

  • EID výsledku v databázi Scopus