Laser micromachining of glass, silicon, and ceramics
Identifikátory výsledku
Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68378271%3A_____%2F15%3A00449555" target="_blank" >RIV/68378271:_____/15:00449555 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
<a href="http://dx.doi.org/10.1155/2015/584952" target="_blank" >http://dx.doi.org/10.1155/2015/584952</a>
DOI - Digital Object Identifier
<a href="http://dx.doi.org/10.1155/2015/584952" target="_blank" >10.1155/2015/584952</a>
Alternativní jazyky
Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
Laser micromachining of glass, silicon, and ceramics
Popis výsledku v původním jazyce
A brief review is focused on laser micromachining of materials. Micromachining of materials is highly widespread method used in many industries, including semiconductors, electronic, medical, and automotive industries, communication, and aerospace. Thismethod is a promising tool for material processing with micron and submicron resolution. In this paper micromachining of glass, silicon, and ceramics is considered. Interaction of these materials with laser radiation and recent research held on laser material treatment is provided.
Název v anglickém jazyce
Laser micromachining of glass, silicon, and ceramics
Popis výsledku anglicky
A brief review is focused on laser micromachining of materials. Micromachining of materials is highly widespread method used in many industries, including semiconductors, electronic, medical, and automotive industries, communication, and aerospace. Thismethod is a promising tool for material processing with micron and submicron resolution. In this paper micromachining of glass, silicon, and ceramics is considered. Interaction of these materials with laser radiation and recent research held on laser material treatment is provided.
Klasifikace
Druh
J<sub>x</sub> - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)
CEP obor
JP - Průmyslové procesy a zpracování
OECD FORD obor
—
Návaznosti výsledku
Projekt
—
Návaznosti
I - Institucionalni podpora na dlouhodoby koncepcni rozvoj vyzkumne organizace
Ostatní
Rok uplatnění
2015
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Údaje specifické pro druh výsledku
Název periodika
Advances in Materials Science and Engineering
ISSN
1687-6822
e-ISSN
—
Svazek periodika
2015
Číslo periodika v rámci svazku
Feb
Stát vydavatele periodika
US - Spojené státy americké
Počet stran výsledku
6
Strana od-do
—
Kód UT WoS článku
000355113200001
EID výsledku v databázi Scopus
2-s2.0-84925610133