Time-resolved diagnostics of a bipolar HiPIMS discharge
Identifikátory výsledku
Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68378271%3A_____%2F20%3A00533971" target="_blank" >RIV/68378271:_____/20:00533971 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
<a href="https://doi.org/10.1063/5.0006425" target="_blank" >https://doi.org/10.1063/5.0006425</a>
DOI - Digital Object Identifier
<a href="http://dx.doi.org/10.1063/5.0006425" target="_blank" >10.1063/5.0006425</a>
Alternativní jazyky
Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
Time-resolved diagnostics of a bipolar HiPIMS discharge
Popis výsledku v původním jazyce
Bipolar high power impulse magnetron sputtering (HiPIMS) with a yttrium target is investigated with the help of time-resolved diagnostics. The bipolar HiPIMS discharge is operated with a negative pulse with a width of 100 μs, which is immediately followed by a positive pulse (pulse voltage up to +60 V) with a duration of ~310 μs. The time-resolved floating potential first rises to a large positive voltage of ~55V at the beginning of the positive pulse (+60 V) and after 30 μs drops to ~38 V. It indicates the ignition of a reversed discharge. Further evidence of such a reversed discharge is confirmed by time-resolved mass spectrometry and time-resolved optical emission spectroscopy.
Název v anglickém jazyce
Time-resolved diagnostics of a bipolar HiPIMS discharge
Popis výsledku anglicky
Bipolar high power impulse magnetron sputtering (HiPIMS) with a yttrium target is investigated with the help of time-resolved diagnostics. The bipolar HiPIMS discharge is operated with a negative pulse with a width of 100 μs, which is immediately followed by a positive pulse (pulse voltage up to +60 V) with a duration of ~310 μs. The time-resolved floating potential first rises to a large positive voltage of ~55V at the beginning of the positive pulse (+60 V) and after 30 μs drops to ~38 V. It indicates the ignition of a reversed discharge. Further evidence of such a reversed discharge is confirmed by time-resolved mass spectrometry and time-resolved optical emission spectroscopy.
Klasifikace
Druh
J<sub>imp</sub> - Článek v periodiku v databázi Web of Science
CEP obor
—
OECD FORD obor
10305 - Fluids and plasma physics (including surface physics)
Návaznosti výsledku
Projekt
Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.
Návaznosti
I - Institucionalni podpora na dlouhodoby koncepcni rozvoj vyzkumne organizace
Ostatní
Rok uplatnění
2020
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Údaje specifické pro druh výsledku
Název periodika
Journal of Applied Physics
ISSN
0021-8979
e-ISSN
—
Svazek periodika
127
Číslo periodika v rámci svazku
20
Stát vydavatele periodika
US - Spojené státy americké
Počet stran výsledku
10
Strana od-do
1-10
Kód UT WoS článku
000537890100002
EID výsledku v databázi Scopus
—