Surface treatment of ZnO microrods by the inductively coupled hydrogen plasma with self-biased holder

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68378271%3A_____%2F21%3A00549951" target="_blank" >RIV/68378271:_____/21:00549951 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Surface treatment of ZnO microrods by the inductively coupled hydrogen plasma with self-biased holder

Popis výsledku v původním jazyce

Inductively coupled plasma (ICP) operating at the radio frequency (RF) of 13.56 MHz has been used as a low-pressure treatment method providing further adjustment of surface properties. We elucidate the role of the self-bias of the substrate holder on optical properties of a ZnO surface exposed to hydrogen plasma.

Název v anglickém jazyce

Surface treatment of ZnO microrods by the inductively coupled hydrogen plasma with self-biased holder

Popis výsledku anglicky

Inductively coupled plasma (ICP) operating at the radio frequency (RF) of 13.56 MHz has been used as a low-pressure treatment method providing further adjustment of surface properties. We elucidate the role of the self-bias of the substrate holder on optical properties of a ZnO surface exposed to hydrogen plasma.

Druh

D - Stať ve sborníku

CEP obor

—

OECD FORD obor

10302 - Condensed matter physics (including formerly solid state physics, supercond.)

Projekt

Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Rok uplatnění

2021

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název statě ve sborníku

Proceedings of ADEPT - ADEPT 2021

ISBN

978-80-554-1806-3

ISSN

—

e-ISSN

—

Počet stran výsledku

4

Strana od-do

37-40

Název nakladatele

University of Žilina

Místo vydání

Žilina

Místo konání akce

Podbanské

Datum konání akce

20. 9. 2021

Typ akce podle státní příslušnosti

EUR - Evropská akce

Kód UT WoS článku

—