LIDT testing as a tool for optimization of processing window for D263 glass sheet TGV treatment
Identifikátory výsledku
Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68378271%3A_____%2F22%3A00569382" target="_blank" >RIV/68378271:_____/22:00569382 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
<a href="https://www.spiedigitallibrary.org/conference-proceedings-of-spie/12300/2642866/LIDT-testing-as-a-tool-for-optimization-of-processing-window/10.1117/12.2642866.short?SSO=1" target="_blank" >https://www.spiedigitallibrary.org/conference-proceedings-of-spie/12300/2642866/LIDT-testing-as-a-tool-for-optimization-of-processing-window/10.1117/12.2642866.short?SSO=1</a>
DOI - Digital Object Identifier
<a href="http://dx.doi.org/10.1117/12.2642866" target="_blank" >10.1117/12.2642866</a>
Alternativní jazyky
Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
LIDT testing as a tool for optimization of processing window for D263 glass sheet TGV treatment
Popis výsledku v původním jazyce
Laser-Induced Deep Etching (LIDE) is considered as the one of the most promising techniques for production of so-called TGVs (Through Glass Vias). In the production process, thin glass sheet is treated with ultra-short lasers pulses to induce surface and volume modification, allowing efficient wet etching and formation of through hole. Precise knowledge of damage threshold of such glass is essential when optimizing the whole process and scaling up the production via laser beam parallelization. In following paper, we present recent results on LIDT measurement of D263 glass sheets at wavelengths 1030 nm and 515 nm, effective utilization of such knowledge for setting up multi-Bessel beam processing optics, and we demonstrate resulting substrates with TGVs.
Název v anglickém jazyce
LIDT testing as a tool for optimization of processing window for D263 glass sheet TGV treatment
Popis výsledku anglicky
Laser-Induced Deep Etching (LIDE) is considered as the one of the most promising techniques for production of so-called TGVs (Through Glass Vias). In the production process, thin glass sheet is treated with ultra-short lasers pulses to induce surface and volume modification, allowing efficient wet etching and formation of through hole. Precise knowledge of damage threshold of such glass is essential when optimizing the whole process and scaling up the production via laser beam parallelization. In following paper, we present recent results on LIDT measurement of D263 glass sheets at wavelengths 1030 nm and 515 nm, effective utilization of such knowledge for setting up multi-Bessel beam processing optics, and we demonstrate resulting substrates with TGVs.
Klasifikace
Druh
D - Stať ve sborníku
CEP obor
—
OECD FORD obor
10306 - Optics (including laser optics and quantum optics)
Návaznosti výsledku
Projekt
Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.
Návaznosti
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)
Ostatní
Rok uplatnění
2022
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Údaje specifické pro druh výsledku
Název statě ve sborníku
Laser-Induced Damage in Optical Materials 2022
ISBN
978-1-5106-5662-8
ISSN
0277-786X
e-ISSN
—
Počet stran výsledku
11
Strana od-do
1230003
Název nakladatele
SPIE
Místo vydání
Bellingham
Místo konání akce
New York
Datum konání akce
18. 9. 2022
Typ akce podle státní příslušnosti
WRD - Celosvětová akce
Kód UT WoS článku
000921048200002