Vzorek skleněného substrátu se strukturou fázových změn vytvořenou pomocí vlnové délky 515 nm

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68378271%3A_____%2F22%3A00573816" target="_blank" >RIV/68378271:_____/22:00573816 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

čeština

Název v původním jazyce

Vzorek skleněného substrátu se strukturou fázových změn vytvořenou pomocí vlnové délky 515 nm

Popis výsledku v původním jazyce

Matice kráterů o průměru 4 mikrony a hloubce 350 nm s odsazením 0,7 mm horizontálně a 1,5 mm vertikálně, nacházející se na obou stranách skleněného substrátu typu Schott D263 o rozměrech 50x50 mm2 a tloušťce 0,1 mm.

Název v anglickém jazyce

Glass substrate sample with phase modifications structure formed by wavelength 515 nm

Popis výsledku anglicky

Matrix of craters with 4 microns in diameter and 350 nm depth, with 0,7 mm horizontal spacing and 1,5 mm vertical spacing, formed on both sides of glass substrate Schott D263 with dimensions 50x50 mm2 and 0,1 mm thickness.

Druh

G_funk - Funkční vzorek

CEP obor

—

OECD FORD obor

20501 - Materials engineering

Projekt

<a href="/cs/project/TM01000021" target="_blank" >TM01000021: Vývoj optické sestavy a procesu založeného na nelineární absorpci pro TGV</a><br>

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Rok uplatnění

2022

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Interní identifikační kód produktu

TM01000021-V5

Číselná identifikace

TM01000021-V5

Technické parametry

Na substrátu D263 o tloušťce 0,1 mm jsou pomocí několika paralelních Besselovských svazků vytvořeny krátery na přední i zadní straně, mezi kterými se nachází masa fázově změněného materiálu s mikrokanálky vytvořenými díky nelineárním jevům vznikajícím při průchodu ultrakrátkých laserových pulzů s vysokou fluencí. Procesní rychlost je > 10 000 kráterů za vteřinu, fluence ve svazku > 8 Jcm-2 na vlnové délce 515 nm, poziční odchylka kráterů < 10% průměru.

Ekonomické parametry

Výsledek slouží ověření funkčnosti technologie mnohosvazkového zpracování dielektrických materiálů Besselovským svazkem a bude využit pro další rozvoj této technologie. Díky provedené modifikaci je možné krátery vyleptat a vytvořit tzv. TGVs (thru-glass-vias), díky čemuž lze takový substrát použít jako hostovací materiál pro vysokofrekvenční mikroelektroniku. Protože Fyzikální ústav nemá jako svoji hlavní činnost výrobu v oblasti mikroelektroniky, bude hledat vhodného průmyslového partnera pro další rozvoj této technologie.

Kategorie aplik. výsledku dle nákladů

—

IČO vlastníka výsledku

68378271

Název vlastníka

Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.

Stát vlastníka

CZ - Česká republika

Druh možnosti využití

P - Využití výsledku jiným subjektem je v některých případech možné bez nabytí licence

Požadavek na licenční poplatek

Z - Poskytovatel licence na výsledek nepožaduje v některých případech licenční poplatek

Adresa www stránky s výsledkem

—