Laserové strukturování senzorických vrstev za účelem vytvoření měřicí lamely
Identifikátory výsledku
Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68378271%3A_____%2F25%3A00645446" target="_blank" >RIV/68378271:_____/25:00645446 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternativní jazyky
Jazyk výsledku
čeština
Název v původním jazyce
Laserové strukturování senzorických vrstev za účelem vytvoření měřicí lamely
Popis výsledku v původním jazyce
Technologie umožňuje selektivní laserové strukturování senzorických vrstev (zejména NiCr) na dielektrických povlacích za účelem vytvoření funkční měřicí lamely odporových tenzometrických senzorů. Proces je založen na ultrakrátkých laserových pulzech a umožňuje dosažení mikrometrové přesnosti geometrie, shody odporových ramen v toleranci < 2 Ω, rychlosti skenování > 700 mm/s a méně než 10 přejezdů laserového svazku. Technologie je určena pro průmyslové aplikace s požadavkem na vysokou přesnost, stabilitu a dlouhou životnost.
Název v anglickém jazyce
Laser structuring of sensor layers for fabrication of a strain gauge lamella
Popis výsledku anglicky
The technology enables selective laser structuring of sensor layers (primarily NiCr) deposited on dielectric coatings for the fabrication of functional strain gauge lamellae. The process is based on ultrashort laser pulses and provides micrometer-scale geometric precision, resistance matching of individual arms within < 2 Ω, scanning speeds exceeding 700 mm/s, and fewer than 10 laser passes. The technology is intended for industrial applications requiring high precision, stability, and long-term reliability.
Klasifikace
Druh
Z<sub>tech</sub> - Ověřená technologie
CEP obor
—
OECD FORD obor
10306 - Optics (including laser optics and quantum optics)
Návaznosti výsledku
Projekt
<a href="/cs/project/FW06010462" target="_blank" >FW06010462: Tenzometrické tenkovrstvé senzory s vysokou citlivostí a životností připravované pomocí magnetronové depozice</a><br>
Návaznosti
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)
Ostatní
Rok uplatnění
2025
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Údaje specifické pro druh výsledku
Interní identifikační kód produktu
FW06010462/001
Číselná identifikace
FW06010462/001
Technické parametry
Výsledky a vyhodnocení“ (kap. 6) – klíčové parametry: rychlost skenování > 700 mm/s, < 10 přejezdů, shoda odporových ramen A–D < 2 Ω, selektivní odstranění NiCr bez poškození dielektrika.
Ekonomické parametry
Ověřená technologie umožňuje rychlou a reprodukovatelnou přípravu senzorických měřicích lamel (včetně automatizovaného 4bodového měření a iterativního dolaďování odporů), čímž snižuje čas výroby, zvyšuje výtěžnost a umožňuje průmyslové využití tenkovrstvých tenzometrických senzorů.
Kategorie aplik. výsledku dle nákladů
—
IČO vlastníka výsledku
68378271
Název vlastníka
Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.,HVM PLASMA, spol. s r.o.
Stát vlastníka
CZ - Česká republika
Druh možnosti využití
A - K využití výsledku jiným subjektem je vždy nutné nabytí licence
Požadavek na licenční poplatek
A - Poskytovatel licence na výsledek požaduje licenční poplatek
Adresa www stránky s výsledkem
—