Kontaktování senzorických vrstev
Identifikátory výsledku
Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68378271%3A_____%2F25%3A00645914" target="_blank" >RIV/68378271:_____/25:00645914 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternativní jazyky
Jazyk výsledku
čeština
Název v původním jazyce
Kontaktování senzorických vrstev
Popis výsledku v původním jazyce
V rámci řešení projektu TAČR TREND jsme vyvinuli metodu přípravy vícevrstevnaté struktury vhodné pro vytváření elektrických kontaktů na senzorických vrstvách typicky založených na materiálu NiCr. Cílený výzkum prokázal, že kombinace tenké vrstvy založené na slitině Ni92V8 opatřené tenkou vrstvou čisté mědi vykazuje vysokou adhezi k senzorickému povlaku NiCr a zároveň zajišťuje bezvadné možnosti cínového pájení na takto připravené kontakty. Jako ekonomicky nejvhodnější metoda přípravy se ukázalo deponovat tenké vrstvy pomocí DC magnetronového naprašování. Pro vysoké teploty nad teplotní použitelnost cínu jsme vyvinuli kontaktování měděného vodiče metodou paralelního svařování, bez mezivrstev přímo na senzorickou vrstvu.
Název v anglickém jazyce
Electric contacts for sensor layers
Popis výsledku anglicky
As part of the TAČR TREND project, we developed a method for preparing a multilayer structure suitable for creating electrical contacts on sensor coatings typically based on NiCr material. Targeted research has shown that a combination of a thin layer based on Ni92V8 alloy coated with a thin layer of pure copper exhibits high adhesion to the NiCr sensor coating and, at the same time, ensures flawless tin soldering on contacts prepared in this way. Depositing thin layers using DC magnetron sputtering has proven to be the most economically viable method of preparation. For high temperature applications, we developed contacting of copper wire using Parallel Gap Welding directly to sensor NiCr layer.
Klasifikace
Druh
G<sub>funk</sub> - Funkční vzorek
CEP obor
—
OECD FORD obor
10305 - Fluids and plasma physics (including surface physics)
Návaznosti výsledku
Projekt
<a href="/cs/project/FW06010462" target="_blank" >FW06010462: Tenzometrické tenkovrstvé senzory s vysokou citlivostí a životností připravované pomocí magnetronové depozice</a><br>
Návaznosti
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)
Ostatní
Rok uplatnění
2025
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Údaje specifické pro druh výsledku
Interní identifikační kód produktu
FVKS/FZU/2025
Číselná identifikace
FVKS/FZU/2025
Technické parametry
Počet vrstev v multivrstevnaté struktuře: 2 Tloušťka Ni92V8 tenké vrstvy: 120 nm Tloušťka Cu tenké vrstvy: 500 nm Depoziční metoda: DC magnetron sputtering Pracovní plyn: argon Pracovní tlak: 0,5 Pa
Ekonomické parametry
Ověření schopnosti kontaktování senzorických vrstev v rámci projektu. Bude využito pro výsledek projektu FW06010462-V5
Kategorie aplik. výsledku dle nákladů
—
IČO vlastníka výsledku
68378271
Název vlastníka
Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i., HVM PLASMA spol. s r.o., Západočeská univerzita v Plzni
Stát vlastníka
CZ - Česká republika
Druh možnosti využití
A - K využití výsledku jiným subjektem je vždy nutné nabytí licence
Požadavek na licenční poplatek
A - Poskytovatel licence na výsledek požaduje licenční poplatek
Adresa www stránky s výsledkem
—