Magnetronově naprašovaný tenzometrický senzor pro měření nízko cyklové únavy

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F45309787%3A_____%2F21%3AN0000002" target="_blank" >RIV/45309787:_____/21:N0000002 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

čeština

Název v původním jazyce

Magnetronově naprašovaný tenzometrický senzor pro měření nízko cyklové únavy

Popis výsledku v původním jazyce

V rámci řešení projektu MPO TRIO jsme vyvinuli naprašovaný tenzometrický sensor. Tento sensor je unikátní, protože je naprašovaný přímo na materiál testovaného dílu a je od základního materiálu oddělen jen speciální dielektrickou vrstvou která je kombinací dvou materiálů – Al2O3 a Ta2O5 a dvou technologií – duálního středofrekvenčního magnetronového naprašování a duálního naprašování pomocí vysoko výkonových pulzů. Sensor je dokončen naprášením senzorické NiCr vrstvy, laserovým strukturováním této vrstvy, naprášením zlatých kontaktů a napájením měděných drátků.

Název v anglickém jazyce

Strain sensor for the low-cycle fatigue measurement prepared by magnetron sputtering

Popis výsledku anglicky

Within the project MPO TRIO, we have developed a strain sensor. This sensor is sputtered directly on the base material electrically isolated by special dielectric coating composed of two different material – Al2O3 and Ta2O5 prepared by two different technologies – Middle frequency dual magnetron sputtering and dual high power impulse magnetron sputtering, respectively. Sensor is completed by sputtering of sensorics NiCr coating, laser structuring, gold contact coating and copper wires soldering.

Druh

G_prot - Prototyp

CEP obor

—

OECD FORD obor

20506 - Coating and films

Projekt

<a href="/cs/project/FV30177" target="_blank" >FV30177: Výzkum a vývoj nových pulzních plazmových technologií pro depozici pokročilých tenkovrstvých materiálů</a><br>

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Rok uplatnění

2021

Kód důvěrnosti údajů

C - Předmět řešení projektu podléhá obchodnímu tajemství (§ 504 Občanského zákoníku), ale název projektu, cíle projektu a u ukončeného nebo zastaveného projektu zhodnocení výsledku řešení projektu (údaje P03, P04, P15, P19, P29, PN8) dodané do CEP, jsou upraveny tak, aby byly zveřejnitelné.

Interní identifikační kód produktu

HVM_2021_01

Číselná identifikace

—

Technické parametry

Magnetronově naprašovaný tenzometrický senzor pro měření nízko-cyklové únavy se skládá z dielektrické multivrstvy Al2O3 + Ta2O5 připravené pomocí reaktivního středofrekvenčního magnetronového naprašování a vysoko výkonového pulzního magnetronového narašování z kovových terčů (Al a Ta) o tloušťce 10 µm. Na povrch této dielektrické multivrstvy je připravena vrstva NiCr pomocí DC magnetronového naprašování o tloušťce 250 nm. Do takto připravené vrstvy je vytvořena laserovým strukturováním lamela odpovídající odporu 1 kΩ. Na kontaktní plochy lamely je pomocí DC magnetronového naprašování připraveno 30 nm zlata a jsou připájené měděné drátky. Detaily depozičních procesů nebudeme v rámci utajení popisovat.

Ekonomické parametry

Ve spolupráci s Regionálním technologickým institutem (RTI) v Plzni bude testována potenciální aplikace připravených senzorů na dlouhotrvající sledování únavy dopravních prostředků a na testování nízko-cyklové únavy vybraných dílů. Bude hledán partner pro aplikace těchto senzorů ve strojírenství. Potenciál senzorů na zvýšení tržeb firmy HVM PLASMA očekáváme v řádu statisíců CZK ročně, pokud se partner najde. Dielektrická vrstva a senzorická vrstva, která je součástí předloženého senzoru, bude využita při dodávkách senzorických vrstev pro našeho průmyslového partnera. V tomto bodě očekáváme obraty v řádu miliónů CZK ročně od roku 2022.

Kategorie aplik. výsledku dle nákladů

—

IČO vlastníka výsledku

45309787

Název vlastníka

HVM PLASMA, spol. s r.o.

Stát vlastníka

CZ - Česká republika

Druh možnosti využití

A - K využití výsledku jiným subjektem je vždy nutné nabytí licence

Požadavek na licenční poplatek

A - Poskytovatel licence na výsledek požaduje licenční poplatek

Adresa www stránky s výsledkem

—