Preparation of tantalum pentoxide by anodic oxidation and its application for humidity sensors

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68407700%3A21220%2F11%3A00204661" target="_blank" >RIV/68407700:21220/11:00204661 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Preparation of tantalum pentoxide by anodic oxidation and its application for humidity sensors

Popis výsledku v původním jazyce

A capacitive humidity sensor includes a capacitor with two metallic electrodes. A moisture sensitive layer of tantalum pentoxide inserted between the electrodes serves as a dielectric. The dielectric is critical for humidity measurement in humidity sensors. In common humidity sensors of this kind, polymer film is used as the dielectric layer. Some of humidity sensors are using oxides layer on a metal like aluminum, tantalum etc, or a combination of these layers, as a dielectric in a capacitor. The electrode based on Ta/Ta2O5 layers could be used as a gate in MOSFET under the interdigital structure.

Název v anglickém jazyce

Preparation of tantalum pentoxide by anodic oxidation and its application for humidity sensors

Popis výsledku anglicky

A capacitive humidity sensor includes a capacitor with two metallic electrodes. A moisture sensitive layer of tantalum pentoxide inserted between the electrodes serves as a dielectric. The dielectric is critical for humidity measurement in humidity sensors. In common humidity sensors of this kind, polymer film is used as the dielectric layer. Some of humidity sensors are using oxides layer on a metal like aluminum, tantalum etc, or a combination of these layers, as a dielectric in a capacitor. The electrode based on Ta/Ta2O5 layers could be used as a gate in MOSFET under the interdigital structure.

Druh

D - Stať ve sborníku

CEP obor

BM - Fyzika pevných látek a magnetismus

OECD FORD obor

—

Projekt

—

Návaznosti

S - Specificky vyzkum na vysokych skolach

Rok uplatnění

2011

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název statě ve sborníku

NANOCON 2011 - Conference Proceedings

ISBN

978-80-87294-27-7

ISSN

—

e-ISSN

—

Počet stran výsledku

4

Strana od-do

555-558

Název nakladatele

TANGEr, spol. s r.o.

Místo vydání

Ostrava

Místo konání akce

Brno

Datum konání akce

21. 9. 2011

Typ akce podle státní příslušnosti

EUR - Evropská akce

Kód UT WoS článku

000306686700090