Strong and Weak Inversion Mode of MOS in the Design of Direction Sensitivity Matrix

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68407700%3A21230%2F06%3A00124474" target="_blank" >RIV/68407700:21230/06:00124474 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Strong and Weak Inversion Mode of MOS in the Design of Direction Sensitivity Matrix

Popis výsledku v původním jazyce

In the article there is presented a new arrangement of a temperature sensor system for air velocity and direction measurement. The system utilizes temperature dependence of the current through the channel of MOS structure. The geometric arrangement of temperature sensors allows measurement of temperature gradient. Temperature gradient allows to compute direction of air flow over the chip. Optimal operating modes of weak and strong inversion of MOS structure operation have been selected for the design ofintegrated temperature matrix. The matrix has been used for the design of a probe for measurement. Various arrangements of MOS sensor structures have been designed. CoventorWare and CADENCE software tools have been used for simulation and modeling of sensor properties.

Název v anglickém jazyce

Strong and Weak Inversion Mode of MOS in the Design of Direction Sensitivity Matrix

Popis výsledku anglicky

In the article there is presented a new arrangement of a temperature sensor system for air velocity and direction measurement. The system utilizes temperature dependence of the current through the channel of MOS structure. The geometric arrangement of temperature sensors allows measurement of temperature gradient. Temperature gradient allows to compute direction of air flow over the chip. Optimal operating modes of weak and strong inversion of MOS structure operation have been selected for the design ofintegrated temperature matrix. The matrix has been used for the design of a probe for measurement. Various arrangements of MOS sensor structures have been designed. CoventorWare and CADENCE software tools have been used for simulation and modeling of sensor properties.

Druh

D - Stať ve sborníku

CEP obor

JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika

OECD FORD obor

—

Projekt

<a href="/cs/project/GA102%2F06%2F1624" target="_blank" >GA102/06/1624: Mikro a nano senzorové struktury a systémy se zabudovanou inteligencí (MINASES)</a><br>

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Rok uplatnění

2006

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název statě ve sborníku

NSTI Nanotech 2006 - Technical Proceedings Vol. 1-3. (CDROM)

ISBN

0-9767985-9-X

ISSN

—

e-ISSN

—

Počet stran výsledku

4

Strana od-do

—

Název nakladatele

Nano Science and Technology Institute

Místo vydání

Boston

Místo konání akce

Boston

Datum konání akce

7. 5. 2006

Typ akce podle státní příslušnosti

WRD - Celosvětová akce

Kód UT WoS článku

—