Micromechanical GaAs Thermal Convertor for Gas Sensors

Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68407700%3A21230%2F07%3A03137145" target="_blank" >RIV/68407700:21230/07:03137145 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
—
DOI - Digital Object Identifier
—

Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
Micromechanical GaAs Thermal Convertor for Gas Sensors
Popis výsledku v původním jazyce
This paper discusses design, simulation and fabrication of new Micromechanical Thermal Converters (MTCs) based on GaAs developed for Gas sensors. GaAs MTCs seem to be very attractive for design of thermally based MEMS sensor devices. High thermal isolation of these devices can be done by implementing of free micromechanical hot plates which is designed as thin as possible.
Název v anglickém jazyce
Micromechanical GaAs Thermal Convertor for Gas Sensors
Popis výsledku anglicky
This paper discusses design, simulation and fabrication of new Micromechanical Thermal Converters (MTCs) based on GaAs developed for Gas sensors. GaAs MTCs seem to be very attractive for design of thermally based MEMS sensor devices. High thermal isolation of these devices can be done by implementing of free micromechanical hot plates which is designed as thin as possible.

Projekt
<a href="/cs/project/GA102%2F06%2F1624" target="_blank" >GA102/06/1624: Mikro a nano senzorové struktury a systémy se zabudovanou inteligencí (MINASES)</a><br>
Návaznosti
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Rok uplatnění
2007
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Podobné výsledky(10)