Zavěšená MEMS struktura pro vysokoteplotní senzor plynů

Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68407700%3A21230%2F08%3A03147717" target="_blank" >RIV/68407700:21230/08:03147717 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
—
DOI - Digital Object Identifier
—

Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
Suspended Island MEMS Structure for High Temperature Gas Sensor
Popis výsledku v původním jazyce
simulation and fabrication of new GaN and GaAs Micromechanical Thermal Converters (MTCs) developed for Gas sensors. GaAs and GaN MTCs seem to be very attractive for design of thermally based MEMS sensor devices. To achieve low power consumption in the sensor operation range of 200 to 500 oC we need to ensure high thermal isolation of sensing layers.
Název v anglickém jazyce
Suspended Island MEMS Structure for High Temperature Gas Sensor
Popis výsledku anglicky
simulation and fabrication of new GaN and GaAs Micromechanical Thermal Converters (MTCs) developed for Gas sensors. GaAs and GaN MTCs seem to be very attractive for design of thermally based MEMS sensor devices. To achieve low power consumption in the sensor operation range of 200 to 500 oC we need to ensure high thermal isolation of sensing layers.

Projekt
<a href="/cs/project/GA102%2F06%2F1624" target="_blank" >GA102/06/1624: Mikro a nano senzorové struktury a systémy se zabudovanou inteligencí (MINASES)</a><br>
Návaznosti
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Rok uplatnění
2008
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Podobné výsledky(10)