GaAs mikromechanický tepelný převodník pro senzory plynů
Identifikátory výsledku
Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68407700%3A21230%2F08%3A03147715" target="_blank" >RIV/68407700:21230/08:03147715 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternativní jazyky
Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
GaAs based micromachined thermal converter for gas sensors
Popis výsledku v původním jazyce
The micromachining technology and an electro-thermo-mechanical performance analysis of GaAs based micromachined thermal converter (MTC) device to be designed for metal oxide gas sensors are presented. MTC device introduced exhibits a low power consumption due to by high thermal resistance values (Rth = 15-21 K/mW), uniform temperature distribution, a fast temperature time response (? 1.5-1.8 ms), and good mechanical integrity and thermal stability. It is also fully compatible with the GaAs HEMT based signal-processing and controlling electronics to be monolithically integrated with the gas sensors. The both a simple analytical and three-dimensional thermal modeling of the MTC device was performed. It supported the high electro-thermal conversion efficiency and fast temperature time response of the MEMS device as evaluated by the experiments.
Název v anglickém jazyce
GaAs based micromachined thermal converter for gas sensors
Popis výsledku anglicky
The micromachining technology and an electro-thermo-mechanical performance analysis of GaAs based micromachined thermal converter (MTC) device to be designed for metal oxide gas sensors are presented. MTC device introduced exhibits a low power consumption due to by high thermal resistance values (Rth = 15-21 K/mW), uniform temperature distribution, a fast temperature time response (? 1.5-1.8 ms), and good mechanical integrity and thermal stability. It is also fully compatible with the GaAs HEMT based signal-processing and controlling electronics to be monolithically integrated with the gas sensors. The both a simple analytical and three-dimensional thermal modeling of the MTC device was performed. It supported the high electro-thermal conversion efficiency and fast temperature time response of the MEMS device as evaluated by the experiments.
Klasifikace
Druh
J<sub>x</sub> - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)
CEP obor
JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika
OECD FORD obor
—
Návaznosti výsledku
Projekt
<a href="/cs/project/GA102%2F06%2F1624" target="_blank" >GA102/06/1624: Mikro a nano senzorové struktury a systémy se zabudovanou inteligencí (MINASES)</a><br>
Návaznosti
Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)
Ostatní
Rok uplatnění
2008
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Údaje specifické pro druh výsledku
Název periodika
Sensors and Actuators
ISSN
0924-4247
e-ISSN
—
Svazek periodika
2008
Číslo periodika v rámci svazku
A142/1
Stát vydavatele periodika
GB - Spojené království Velké Británie a Severního Irska
Počet stran výsledku
6
Strana od-do
—
Kód UT WoS článku
000253613100022
EID výsledku v databázi Scopus
—