Mechanická a tribologická charakterizace vrstev CNx deponovaných d.c. magnetronovým naprašováním

Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68407700%3A21260%2F07%3A06139515" target="_blank" >RIV/68407700:21260/07:06139515 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
—
DOI - Digital Object Identifier
—

Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
Mechanical and Tribological Characterization of CNx Films Deposited by D.C.Magnetron Sputtering
Popis výsledku v původním jazyce
Carbon nitride (CNx) thin films were deposited onto silicon and steel substrates at 400 °C from a carbon target by d.c. magnetron sputtering system. The composition, structural, and mechanical properties of deposited films were investigated as a functionof argon/nitrogen concentration and sputtering power
Název v anglickém jazyce
Mechanical and Tribological Characterization of CNx Films Deposited by D.C.Magnetron Sputtering
Popis výsledku anglicky
Carbon nitride (CNx) thin films were deposited onto silicon and steel substrates at 400 °C from a carbon target by d.c. magnetron sputtering system. The composition, structural, and mechanical properties of deposited films were investigated as a functionof argon/nitrogen concentration and sputtering power

Druh
J<sub>x</sub> - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)
CEP obor
JI - Kompositní materiály
OECD FORD obor
—

Projekt
<a href="/cs/project/GP106%2F07%2FP014" target="_blank" >GP106/07/P014: Samomazné vrstvy na bázi dichalkogenidů přechodových kovů</a><br>
Návaznosti
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Rok uplatnění
2007
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Podobné výsledky(10)