Optické a elektrické vlastnosti WON vrstev deponovaných dc magnetronem

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68407700%3A21260%2F07%3A06139519" target="_blank" >RIV/68407700:21260/07:06139519 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Optical and Electrical Properties of W-O-N Coatings Deposited by DC Reactive Sputtering

Popis výsledku v původním jazyce

Tungsten oxynitride films (W-O-N) were prepared by DC reactive magnetron sputtering in a wide range of compositions from tungsten nitride (WN) to tungsten oxide (WO3), by changing the oxygen and nitrogen flows, fO2 and fN2, respectively, and their electrical and optical properties were evaluated with respect to the structure.

Název v anglickém jazyce

Optical and Electrical Properties of W-O-N Coatings Deposited by DC Reactive Sputtering

Popis výsledku anglicky

Tungsten oxynitride films (W-O-N) were prepared by DC reactive magnetron sputtering in a wide range of compositions from tungsten nitride (WN) to tungsten oxide (WO3), by changing the oxygen and nitrogen flows, fO2 and fN2, respectively, and their electrical and optical properties were evaluated with respect to the structure.

Druh

J_x - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)

CEP obor

BM - Fyzika pevných látek a magnetismus

OECD FORD obor

—

Projekt

—

Návaznosti

Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Rok uplatnění

2007

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název periodika

Plasma Processes and Polymers

ISSN

1612-8850

e-ISSN

—

Svazek periodika

4

Číslo periodika v rámci svazku

S1

Stát vydavatele periodika

DE - Spolková republika Německo

Počet stran výsledku

7

Strana od-do

69-75

Kód UT WoS článku

—

EID výsledku v databázi Scopus

—