Vše

Co hledáte?

Vše
Projekty
Výsledky výzkumu
Subjekty

Rychlé hledání

  • Projekty podpořené TA ČR
  • Významné projekty
  • Projekty s nejvyšší státní podporou
  • Aktuálně běžící projekty

Chytré vyhledávání

  • Takto najdu konkrétní +slovo
  • Takto z výsledků -slovo zcela vynechám
  • “Takto můžu najít celou frázi”

Modeling of capacitive MEMS microphone with square membrane or plate using integral method

Identifikátory výsledku

  • Kód výsledku v IS VaVaI

    <a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68407700%3A21260%2F15%3A00231385" target="_blank" >RIV/68407700:21260/15:00231385 - isvavai.cz</a>

  • Výsledek na webu

    <a href="http://authors.elsevier.com/sd/article/S187770581502319X" target="_blank" >http://authors.elsevier.com/sd/article/S187770581502319X</a>

  • DOI - Digital Object Identifier

    <a href="http://dx.doi.org/10.1016/j.proeng.2015.08.656" target="_blank" >10.1016/j.proeng.2015.08.656</a>

Alternativní jazyky

  • Jazyk výsledku

    angličtina

  • Název v původním jazyce

    Modeling of capacitive MEMS microphone with square membrane or plate using integral method

  • Popis výsledku v původním jazyce

    An analytical approach describing the acoustic pressure field inside a thin layer of thermo-viscous fluid trapped between the square membrane or plate and planar backing electrode of the electrostatic receiver, which involves integral formulation, is presented. The use of integral formulation enables to choose between a model of membrane and plate easily and to avoid the limitations of the classical method whereby the acoustic field is expressed as a sum of eigenmodes coupled with modal expression of the diaphragm displacement. The analytically calculated pressure sensitivity of the receiver is compared to the numerically calculated one and the discrepancies are discussed.

  • Název v anglickém jazyce

    Modeling of capacitive MEMS microphone with square membrane or plate using integral method

  • Popis výsledku anglicky

    An analytical approach describing the acoustic pressure field inside a thin layer of thermo-viscous fluid trapped between the square membrane or plate and planar backing electrode of the electrostatic receiver, which involves integral formulation, is presented. The use of integral formulation enables to choose between a model of membrane and plate easily and to avoid the limitations of the classical method whereby the acoustic field is expressed as a sum of eigenmodes coupled with modal expression of the diaphragm displacement. The analytically calculated pressure sensitivity of the receiver is compared to the numerically calculated one and the discrepancies are discussed.

Klasifikace

  • Druh

    D - Stať ve sborníku

  • CEP obor

    BI - Akustika a kmity

  • OECD FORD obor

Návaznosti výsledku

  • Projekt

  • Návaznosti

    S - Specificky vyzkum na vysokych skolach

Ostatní

  • Rok uplatnění

    2015

  • Kód důvěrnosti údajů

    S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Údaje specifické pro druh výsledku

  • Název statě ve sborníku

    Procedia Engineering Special Issue Eurosensors 2015

  • ISBN

  • ISSN

    1877-7058

  • e-ISSN

  • Počet stran výsledku

    4

  • Strana od-do

    418-421

  • Název nakladatele

    Elsevier Ltd

  • Místo vydání

    Oxford

  • Místo konání akce

    Freiburg

  • Datum konání akce

    6. 9. 2015

  • Typ akce podle státní příslušnosti

    WRD - Celosvětová akce

  • Kód UT WoS článku