Modeling of capacitive MEMS microphone with square membrane or plate using integral method
Identifikátory výsledku
Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68407700%3A21260%2F15%3A00231385" target="_blank" >RIV/68407700:21260/15:00231385 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
<a href="http://authors.elsevier.com/sd/article/S187770581502319X" target="_blank" >http://authors.elsevier.com/sd/article/S187770581502319X</a>
DOI - Digital Object Identifier
<a href="http://dx.doi.org/10.1016/j.proeng.2015.08.656" target="_blank" >10.1016/j.proeng.2015.08.656</a>
Alternativní jazyky
Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
Modeling of capacitive MEMS microphone with square membrane or plate using integral method
Popis výsledku v původním jazyce
An analytical approach describing the acoustic pressure field inside a thin layer of thermo-viscous fluid trapped between the square membrane or plate and planar backing electrode of the electrostatic receiver, which involves integral formulation, is presented. The use of integral formulation enables to choose between a model of membrane and plate easily and to avoid the limitations of the classical method whereby the acoustic field is expressed as a sum of eigenmodes coupled with modal expression of the diaphragm displacement. The analytically calculated pressure sensitivity of the receiver is compared to the numerically calculated one and the discrepancies are discussed.
Název v anglickém jazyce
Modeling of capacitive MEMS microphone with square membrane or plate using integral method
Popis výsledku anglicky
An analytical approach describing the acoustic pressure field inside a thin layer of thermo-viscous fluid trapped between the square membrane or plate and planar backing electrode of the electrostatic receiver, which involves integral formulation, is presented. The use of integral formulation enables to choose between a model of membrane and plate easily and to avoid the limitations of the classical method whereby the acoustic field is expressed as a sum of eigenmodes coupled with modal expression of the diaphragm displacement. The analytically calculated pressure sensitivity of the receiver is compared to the numerically calculated one and the discrepancies are discussed.
Klasifikace
Druh
D - Stať ve sborníku
CEP obor
BI - Akustika a kmity
OECD FORD obor
—
Návaznosti výsledku
Projekt
—
Návaznosti
S - Specificky vyzkum na vysokych skolach
Ostatní
Rok uplatnění
2015
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Údaje specifické pro druh výsledku
Název statě ve sborníku
Procedia Engineering Special Issue Eurosensors 2015
ISBN
—
ISSN
1877-7058
e-ISSN
—
Počet stran výsledku
4
Strana od-do
418-421
Název nakladatele
Elsevier Ltd
Místo vydání
Oxford
Místo konání akce
Freiburg
Datum konání akce
6. 9. 2015
Typ akce podle státní příslušnosti
WRD - Celosvětová akce
Kód UT WoS článku
—