Metrologie mikrozrcadel s replikovanými multivrstvami

Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68407700%3A21340%2F07%3A04137246" target="_blank" >RIV/68407700:21340/07:04137246 - isvavai.cz</a>
Nalezeny alternativní kódy
RIV/28400020:_____/07:#0000003
Výsledek na webu
—
DOI - Digital Object Identifier
—

Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
Metrology of micromirrors with replicated multilayers
Popis výsledku v původním jazyce
Replicated multilayers inside the rotationally symmetric x-ray mirrors with diameter 0.5-4 mm are being investigated. While the replicated Micromirror technology as well as replicated multilayers on the planar surface were already studied, we present here the combination of both technologies. Initial simulations and development of metrology of multilayers inside small cavities are described, as well as very first results of experiments.
Název v anglickém jazyce
Metrology of micromirrors with replicated multilayers
Popis výsledku anglicky
Replicated multilayers inside the rotationally symmetric x-ray mirrors with diameter 0.5-4 mm are being investigated. While the replicated Micromirror technology as well as replicated multilayers on the planar surface were already studied, we present here the combination of both technologies. Initial simulations and development of metrology of multilayers inside small cavities are described, as well as very first results of experiments.

Projekt
<a href="/cs/project/FT-TA3%2F112" target="_blank" >FT-TA3/112: Technologie replikace multivrstevnatých rentgenových zrcadel.</a><br>
Návaznosti
Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Rok uplatnění
2007
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Podobné výsledky(10)