Vše

Co hledáte?

Vše
Projekty
Výsledky výzkumu
Subjekty

Rychlé hledání

  • Projekty podpořené TA ČR
  • Významné projekty
  • Projekty s nejvyšší státní podporou
  • Aktuálně běžící projekty

Chytré vyhledávání

  • Takto najdu konkrétní +slovo
  • Takto z výsledků -slovo zcela vynechám
  • “Takto můžu najít celou frázi”

Direct Growth of Sub-Micron Diamond Structures

Identifikátory výsledku

  • Kód výsledku v IS VaVaI

    <a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68407700%3A21340%2F12%3A00200419" target="_blank" >RIV/68407700:21340/12:00200419 - isvavai.cz</a>

  • Výsledek na webu

    <a href="http://dx.doi.org/10.1016/j.vacuum.2011.08.011" target="_blank" >http://dx.doi.org/10.1016/j.vacuum.2011.08.011</a>

  • DOI - Digital Object Identifier

    <a href="http://dx.doi.org/10.1016/j.vacuum.2011.08.011" target="_blank" >10.1016/j.vacuum.2011.08.011</a>

Alternativní jazyky

  • Jazyk výsledku

    angličtina

  • Název v původním jazyce

    Direct Growth of Sub-Micron Diamond Structures

  • Popis výsledku v původním jazyce

    By employing optical and electron beam lithography, micrometer and sub-micrometer wide polymer structures were fabricated on a diamond nano-particle layer. After selective removal of the diamond nano-particles (seeds) in the buffer oxide etchant, all samples were exposed to microwave plasma-assisted chemical vapor deposition. Well-defined diamond channels (in widths from 5 ?m down to 250 nm) were realized. The advantages and limitations of the wet treatment process and the lithographical polymer application as a masking material are discussed in this study.

  • Název v anglickém jazyce

    Direct Growth of Sub-Micron Diamond Structures

  • Popis výsledku anglicky

    By employing optical and electron beam lithography, micrometer and sub-micrometer wide polymer structures were fabricated on a diamond nano-particle layer. After selective removal of the diamond nano-particles (seeds) in the buffer oxide etchant, all samples were exposed to microwave plasma-assisted chemical vapor deposition. Well-defined diamond channels (in widths from 5 ?m down to 250 nm) were realized. The advantages and limitations of the wet treatment process and the lithographical polymer application as a masking material are discussed in this study.

Klasifikace

  • Druh

    O - Ostatní výsledky

  • CEP obor

    BM - Fyzika pevných látek a magnetismus

  • OECD FORD obor

Návaznosti výsledku

  • Projekt

  • Návaznosti

    S - Specificky vyzkum na vysokych skolach

Ostatní

  • Rok uplatnění

    2012

  • Kód důvěrnosti údajů

    S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů