Tepelně tvarované křemíkové plátky pro přesnou rentgenovou optiku

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68407700%3A21340%2F14%3A00241809" target="_blank" >RIV/68407700:21340/14:00241809 - isvavai.cz</a>

Nalezeny alternativní kódy

RIV/60461373:22310/14:43898451 RIV/68407700:21230/14:00241809

Výsledek na webu

<a href="http://spisy.upv.cz/Patents/FullDocuments/304/304312.pdf" target="_blank" >http://spisy.upv.cz/Patents/FullDocuments/304/304312.pdf</a>

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

čeština

Název v původním jazyce

Tepelně tvarované křemíkové plátky pro přesnou rentgenovou optiku

Popis výsledku v původním jazyce

Tepelně tvarované křemíkové plátky pro přesnou rentgenovou optiku, připravitelné tvarováním z výchozích rovinných monokrystalických křemíkových plátků (1) zahříváním z teploty okolí na tvarovací teplotu v rozmezí 1200 až 1400 °C s výdrží na konstantní teplotě po dobu 1 minuty až 6 hodin a poté ochlazením, přičemž tvarování, zahřívání i ochlazování je prováděno v ochranné atmosféře samotného vodíku nebo v ochranné atmosféře směsi kyslíku s argonem, nebo kyslíku s dusíkem při parciálním tlaku kyslíku v rozmezí 1.10-8 Pa až 21 kPa, a při současném působení přítlačnou silou v rozpětí 1 až 200 N, kde každý monokrystalický výchozí křemíkový plátek (1) a) je předem dopovaný alespoň jedním prvkem ze skupiny, zahrnující bor, fosfor, arsen a antimon, v množstvído 1,8.1021 atomů v jednom cm3 materiálu výchozího monokrystalického křemíkového plátku; b) vykazuje rovinnost pod 10 .mi.m; c) má tloušťku pod 0,8 mm; d) má krystalografickou orientaci <100> nebo <111>; e) má střední hodnotu mikrodrsnost

Název v anglickém jazyce

Heat shaped silicon lamellas for precise X-ray optics

Popis výsledku anglicky

A single-crystal silicon lamella (1) is preliminary doped with at least one element being selected from the group consisting of boron, phosphorus, arsenic and antimony, in an amount of from about 0 to about 2.0.10e21 atoms in one cme3 of material of thestarting single-crystal silicon lamella (1). The starting single-crystal silicon lamella (1) is planar and exhibits planarity below 10 microns. The thickness of the starting single-crystal silicon lamella (1) is less than 0.8 mm; crystallographic orientation <100> or <111>; and average value of surface microroughness Ria less than 0.6 nm on a functional reflecting surface. The resulting single-crystal silicon lamella (10) exhibits a precise optical shape of the functional reflecting surface with a deviation from the required shape below 20 microns and high optical quality with an average value of microroughness Ria less than 1.0 nm, preferably less than 0.4 nm. The starting single-crystal silicon lamella (1) preferably exhibit specific

Druh

P - Patent

CEP obor

BH - Optika, masery a lasery

OECD FORD obor

—

Projekt

<a href="/cs/project/IAAX01220701" target="_blank" >IAAX01220701: Materiálové a rentgenooptické vlastnosti tvarovaných křemíkových plátků</a><br>

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Rok uplatnění

2014

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Číslo patentu nebo vzoru

304312

Vydavatel

CZ001 -

Název vydavatele

Industrial Property Office

Místo vydání

Prague

Stát vydání

CZ - Česká republika

Datum přijetí

15. 1. 2014

Název vlastníka

České vysoké učení technické v Praze Fakulta jaderná a fyzikálně inženýrská; Vysoká škola chemicko - technologická v Praze

Způsob využití

A - Výsledek využívá pouze poskytovatel

Druh možnosti využití

N - Využití výsledku jiným subjektem je možné bez nabytí licence (výsledek není licencován)