Degradace polysilanů UV a elektronovým svazkem pro nanorezisty

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F70883521%3A28110%2F06%3A63504651" target="_blank" >RIV/70883521:28110/06:63504651 - isvavai.cz</a>

Nalezeny alternativní kódy

RIV/68081731:_____/06:00053491

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Polysilanes UV and electron beam degradation for nanorezists

Popis výsledku v původním jazyce

Metastability and degradation of polysilanes by UV and electron beam was examined for nanoresists. Reversible and irreversible degradation is explained by the model of weak bonds.

Název v anglickém jazyce

Polysilanes UV and electron beam degradation for nanorezists

Popis výsledku anglicky

Metastability and degradation of polysilanes by UV and electron beam was examined for nanoresists. Reversible and irreversible degradation is explained by the model of weak bonds.

Druh

D - Stať ve sborníku

CEP obor

CD - Makromolekulární chemie

OECD FORD obor

—

Projekt

Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)<br>Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Rok uplatnění

2006

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název statě ve sborníku

Applied Physics of Condensed Matter - APCOM 2006

ISBN

80-227-2424-6

ISSN

—

e-ISSN

—

Počet stran výsledku

4

Strana od-do

37-40

Název nakladatele

Slovenská technická univerzita v Bratislave

Místo vydání

Bratislava

Místo konání akce

—

Datum konání akce

—

Typ akce podle státní příslušnosti

—

Kód UT WoS článku

—