Design nových funkčních materiálů, a cest pro jejich reaktivní magnetronové naprašování, pomocí pokročilých počítačových simulací

Poskytovatel

Grantová agentura České republiky

Program

Standardní projekty

Veřejná soutěž

Standardní projekty 23 (SGA0201900001)

Hlavní účastníci

Západočeská univerzita v Plzni / Fakulta aplikovaných věd

Druh soutěže

VS - Veřejná soutěž

Číslo smlouvy

19-14011S

Název projektu anglicky

Design of novel functional materials, and pathways for their reactive magnetron sputtering, using advanced computer simulations

Anotace anglicky

The project subject is using advanced simulation techniques to design (i) novel functional materials and (ii) pathways for their preparation in the form of thin films by magnetron sputtering. Number of state-of-the-art simulation techniques will be utilized, ranging from (i) simulations of plasma and plasma-surface interactions through (ii) ab-initio description of the sputter target surface and (iii) reproducing the film growth using classical molecular dynamics (including a development of own force fields) to (iv) ab-initio calculations of structures and properties of crystalline and amorphous materials. The theoretical investigations will be performed in the same field as and in a direct connection with a parallel experimental research, ranging from plasma diagnostics through classical reactive magnetron sputtering to advanced techniques such a high-power impulse magnetron sputtering with a pulsed reactive gas flow control. The materials of interest will include (i) desired but difficult to prepare phases of metal oxides, (ii) multicomponent nitrides, and (iii) oxynitrides.

Kategorie VaV

ZV - Základní výzkum

OECD FORD - hlavní obor

20506 - Coating and films

OECD FORD - vedlejší obor

—

OECD FORD - další vedlejší obor

—

CEP - odpovídající obory <br>(dle <a href="http://www.vyzkum.cz/storage/att/E6EF7938F0E854BAE520AC119FB22E8D/Prevodnik_oboru_Frascati.pdf">převodníku</a>)

JK - Koroze a povrchové úpravy materiálu

Hodnocení poskytovatelem

V - Vynikající výsledky projektu (s mezinárodním významem atd.)

Zhodnocení výsledků projektu

Vypracované postupy návrhu nových materiálů a experimentální ověření vypracovaných modelů na vybraných materiálech výrazně přispívají k základnímu poznání procesů probíhajících při magnetronovém naprašování. Výsledky mohou nalézt uplatnění ve vakuové technologii tenkých vrstev.

Zahájení řešení

1. 1. 2019

Ukončení řešení

31. 12. 2021

Poslední stav řešení

U - Ukončený projekt

Poslední uvolnění podpory

30. 4. 2021

Důvěrnost údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Systémové označení dodávky dat

CEP22-GA0-GA-U

Datum dodání záznamu

29. 6. 2022

Celkové uznané náklady

5 092 tis. Kč

Výše podpory ze státního rozpočtu

4 762 tis. Kč

Ostatní veřejné zdroje financování

330 tis. Kč

Neveřejné tuz. a zahr. zdroje finan.

0 tis. Kč