Simulací řízený vývoj technologie FastPIMS: systém rychlého spínání pro pulzní RF/HiPIMS plazmové aplikace
Cíle projektu
Cílem projektu je vyvinout globální model RF a HiPIMS naprašování, který umožní proces RF/HiPIMS naprašování oxidových povlaků nastavit a přizpůsobit pro konkrétní uživatele a jejich aplikace bez nutnosti zdlouhavého procesu testování, včetně ověřené technologie a validační a verifikační studie. Jedná se národní projekt, který byl podán společně s německými partnery (výzkumná organizace a podnik) v rámci mezinárodního schématu Ira-SME. Cílem projektu je vyvinout prototypovací software, který umožní proces RF/HiPIMS naprašování oxidových povlaků nastavit a přizpůsobit pro konkrétní uživatele a jejich aplikace bez nutnosti zdlouhavého procesu testování metodou pokus-omyl. Využije přitom své know-how v oblasti vývoje průmyslových simulací pro procesy fyzikálního napařování (PVD) a nanášení povlaků pomocí plazmatu (PECVD). Doposud se firma v rámci svého vývoje zaměřovala na stejnosměrné (DC) nebo pulzní naprašování zejména supertvrdých nitridových vrstev. Nové navrhované řešení přichází s unikátní kombinací RF (radiofrekvenční) a HiPIMS (high-impulse power magnetron sputtering) naprašování pro přípravu funkčních oxidových povlaků pro zejména polovodičový, solární nebo optický průmysl.
Klíčová slova
Veřejná podpora
Poskytovatel
Ministerstvo průmyslu a obchodu
Program
Operační program Technologie a aplikace pro konkurenceschopnost (2021-2027)
Veřejná soutěž
—
Hlavní účastníci
PlasmaSolve s.r.o.
Druh soutěže
OP - Operační program EU
Číslo smlouvy
MPO 111808/23/61400
Alternativní jazyk
Název projektu anglicky
FastPIMS: Simulation driven Fast switch match system for pulsed rf/HiPIMS plasma applications
Anotace anglicky
The goal of the project is to develop a global RF and HiPIMS sputtering model that will allow the RF/HiPIMS sputtering process of oxide coatings to be set up and customized for specific users and their applications without the need for a lengthy testing process, including proven technology and validation and verification studies. It is a national project that was submitted together with German partners (research organization and company) within the international scheme Ira-SME. The goal of the project is to develop prototyping software that will allow the RF/HiPIMS sputtering process of oxide coatings to be set up and customized for specific users and their applications without the need for a lengthy trial-and-error testing process. He will use his know-how in the field of developing industrial simulations for physical vapor deposition (PVD) and plasma-assisted coating (PECVD) processes. Until now, the company has focused on direct current (DC) or pulse sputtering of superhard nitride layers in its development. The new proposed solution comes with a unique combination of RF (radio frequency) and HiPIMS (high-impulse power magnetron sputtering) sputtering for the preparation of functional oxide coatings especially for the semiconductor, solar or optical industries.
Vědní obory
Kategorie VaV
AP - Aplikovaný výzkum
OECD FORD - hlavní obor
10201 - Computer sciences, information science, bioinformathics (hardware development to be 2.2, social aspect to be 5.8)
OECD FORD - vedlejší obor
—
OECD FORD - další vedlejší obor
—
CEP - odpovídající obory
(dle převodníku)AF - Dokumentace, knihovnictví, práce s informacemi
BC - Teorie a systémy řízení
BD - Teorie informace
IN - Informatika
Termíny řešení
Zahájení řešení
1. 5. 2023
Ukončení řešení
30. 4. 2025
Poslední stav řešení
K - Končící víceletý projekt
Poslední uvolnění podpory
13. 12. 2023
Dodání dat do CEP
Důvěrnost údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Systémové označení dodávky dat
CEP25-MPO-EI-R
Datum dodání záznamu
20. 2. 2025
Finance
Celkové uznané náklady
5 997 tis. Kč
Výše podpory ze státního rozpočtu
0 tis. Kč
Ostatní veřejné zdroje financování
0 tis. Kč
Neveřejné tuz. a zahr. zdroje finan.
2 040 tis. Kč
Poskytovatel
Ministerstvo průmyslu a obchodu
OECD FORD
Computer sciences, information science, bioinformathics (hardware development to be 2.2, social aspect to be 5.8)
Doba řešení
01. 05. 2023 - 30. 04. 2025