Simulací řízený vývoj technologie FastPIMS: systém rychlého spínání pro pulzní RF/HiPIMS plazmové aplikace

Poskytovatel
Ministerstvo průmyslu a obchodu
Program
Operační program Technologie a aplikace pro konkurenceschopnost (2021-2027)
Veřejná soutěž
—
Hlavní účastníci
PlasmaSolve s.r.o.
Druh soutěže
OP - Operační program EU
Číslo smlouvy
MPO 111808/23/61400

Název projektu anglicky
FastPIMS: Simulation driven Fast switch match system for pulsed rf/HiPIMS plasma applications
Anotace anglicky
The goal of the project is to develop a global RF and HiPIMS sputtering model that will allow the RF/HiPIMS sputtering process of oxide coatings to be set up and customized for specific users and their applications without the need for a lengthy testing process, including proven technology and validation and verification studies. It is a national project that was submitted together with German partners (research organization and company) within the international scheme Ira-SME. The goal of the project is to develop prototyping software that will allow the RF/HiPIMS sputtering process of oxide coatings to be set up and customized for specific users and their applications without the need for a lengthy trial-and-error testing process. He will use his know-how in the field of developing industrial simulations for physical vapor deposition (PVD) and plasma-assisted coating (PECVD) processes. Until now, the company has focused on direct current (DC) or pulse sputtering of superhard nitride layers in its development. The new proposed solution comes with a unique combination of RF (radio frequency) and HiPIMS (high-impulse power magnetron sputtering) sputtering for the preparation of functional oxide coatings especially for the semiconductor, solar or optical industries.

Kategorie VaV
AP - Aplikovaný výzkum
OECD FORD - hlavní obor
10201 - Computer sciences, information science, bioinformathics (hardware development to be 2.2, social aspect to be 5.8)
OECD FORD - vedlejší obor
—
OECD FORD - další vedlejší obor
—
CEP - odpovídající obory <br>(dle <a href="http://www.vyzkum.cz/storage/att/E6EF7938F0E854BAE520AC119FB22E8D/Prevodnik_oboru_Frascati.pdf">převodníku</a>)
AF - Dokumentace, knihovnictví, práce s informacemi<br>BC - Teorie a systémy řízení<br>BD - Teorie informace<br>IN - Informatika

Hodnocení poskytovatelem
U - Uspěl podle zadání (s publikovanými či patentovanými výsledky atd.)
Zhodnocení výsledků projektu
Projekt byl realizován v souladu se schváleným plánem a stanovenými cíli. V průběhu řešení byly systematicky naplňovány stanovené výzkumné cíle a jednotlivé dílčí úkoly. Dosažené výsledky odpovídají plánovaným výstupům projektu a představují relevantní přínos pro rozvoj poznání v dané odborné oblasti. Výstupy projektu vytvářejí předpoklady pro jejich další využití ve výzkumné i aplikační sféře. Na základě dosažených výsledků lze konstatovat, že projekt splnil stanovené cíle a byl úspěšně realizován v souladu se zadáním.

Důvěrnost údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Systémové označení dodávky dat
CEP26-MPO-EI-U
Datum dodání záznamu
5. 3. 2026

Podobné projekty(10)