Pokročilá diagnostika reaktivního HiPIMS plazmatu pro depozici oxidových, nitridových a sulfidových vrstev

Poskytovatel

Grantová agentura České republiky

Program

Standardní projekty

Veřejná soutěž

Standardní projekty 23 (SGA0201900001)

Hlavní účastníci

Univerzita Karlova / Matematicko-fyzikální fakulta

Druh soutěže

VS - Veřejná soutěž

Číslo smlouvy

19-00579S

Název projektu anglicky

Advanced diagnostics of reactive HiPIMS plasma for deposition of oxide, nitride and sulfide layers

Anotace anglicky

Research in the Reactive High Power Impulse Magnetron Sputtering (R-HiPIMS) field is still in its early stages mainly focusing on compound film characterisation rather than on the description of processes accompanying the deposition. The aim of the project is to well understand relationships between the R-HiPIMS process modes (metallic, transition and compound) and the local parameters of the deposition plasma (such as the energies and fluxes of different species on the substrate, electron density and distribution functions, and sputtered species number densities). The project focuses on the characterisation of the R-HiPIMS process by advanced plasma diagnostics tools during deposition of oxide, nitride or sulphide thin films with the aim to increase the level of understanding of the R-HiPIMS process. Particular attention will be paid to study of the plasma instabilities (so called spokes) which occur at the HiPIMS conditions and to assess the impact of the spoke presence on the R-HiPIMS deposition process. Experimental results will be compared with theoretical models.

Kategorie VaV

ZV - Základní výzkum

OECD FORD - hlavní obor

10305 - Fluids and plasma physics (including surface physics)

OECD FORD - vedlejší obor

—

OECD FORD - další vedlejší obor

—

CEP - odpovídající obory <br>(dle <a href="http://www.vyzkum.cz/storage/att/E6EF7938F0E854BAE520AC119FB22E8D/Prevodnik_oboru_Frascati.pdf">převodníku</a>)

BK - Mechanika tekutin<br>BL - Fyzika plasmatu a výboje v plynech

Hodnocení poskytovatelem

U - Uspěl podle zadání (s publikovanými či patentovanými výsledky atd.)

Zhodnocení výsledků projektu

Projekt dosáhl významných výsledků, shrnutých v 23 relevantních publikacích. Na projektu se podílelo velké množství studentů. Projekt proběhl v souladu s pravidly GAČR. Závěrečná karta je adekvátní.

Zahájení řešení

1. 1. 2019

Ukončení řešení

31. 12. 2021

Poslední stav řešení

U - Ukončený projekt

Poslední uvolnění podpory

30. 4. 2021

Důvěrnost údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Systémové označení dodávky dat

CEP22-GA0-GA-U

Datum dodání záznamu

29. 6. 2022

Celkové uznané náklady

11 303 tis. Kč

Výše podpory ze státního rozpočtu

9 645 tis. Kč

Ostatní veřejné zdroje financování

1 658 tis. Kč

Neveřejné tuz. a zahr. zdroje finan.

0 tis. Kč