Porozumění hybridnímu PVD-PECVD procesu s cílem řídit růst nanostrukturovaných kompozitních vrstev

Poskytovatel

Grantová agentura České republiky

Program

Standardní projekty

Veřejná soutěž

Standardní projekty 15 (SGA02012GA-ST)

Hlavní účastníci

Masarykova univerzita / Přírodovědecká fakulta

Druh soutěže

VS - Veřejná soutěž

Číslo smlouvy

P205-12-0407

Název projektu anglicky

Understanding of Hybrid PVD-PECVD Process with Aim to Control Grow of Nanostructured Composite Coatings

Anotace anglicky

This project focuses on investigation of the behaviour of hybrid PVD-PECVD process, which will be used for preparation of nanostructured composite n-MC/a-C(:H) materials. The main goal of this project is to understand a relationship between process parameters and parameters of deposition plasma, which actually govern plasma processes and plasma-surface interaction. The system n-TiC/a-C:H will be studied in details, system n-WC/a-C:H for comparison. To significantly enhance the ion bombardement of the growing film, the magnetron cathode will be driven by high power pulses (HIPIMS), too. Within the frame of this work, we will focus also on two mutually interconnected subjects: on the characterisation of the mechanical properties of prepared coating/substrate systems with the aim to optimize the deposition process and on the enhancement of the evaluation methods for characterisation of layered nanostructured films. Beside deposition on laboratory samples, the deposition of the coating on industrial cutting tools and test of the cutting performance will be performed, too.

Kategorie VaV

ZV - Základní výzkum

CEP - hlavní obor

BL - Fyzika plasmatu a výboje v plynech

CEP - vedlejší obor

—

CEP - další vedlejší obor

—

OECD FORD - odpovídající obory <br>(dle <a href="http://www.vyzkum.cz/storage/att/E6EF7938F0E854BAE520AC119FB22E8D/Prevodnik_oboru_Frascati.pdf">převodníku</a>)

10305 - Fluids and plasma physics (including surface physics)

Hodnocení poskytovatelem

U - Uspěl podle zadání (s publikovanými či patentovanými výsledky atd.)

Zhodnocení výsledků projektu

Řešení tohoto 5letého projektu zaměřeného na studium hybridního PVD-PECVD procesu odpovídá původnímu záměru. Výsledky projektu byly publikovány v 11 impaktovaných časopisech. Celkově se jedná o relativně dobře řešený projekt s aktivním zapojením studentů a rozvojem mezinárodní spolupráce. Finanční prostředky byly využity účelně a efektivně.

Zahájení řešení

1. 1. 2012

Ukončení řešení

31. 12. 2016

Poslední stav řešení

U - Ukončený projekt

Poslední uvolnění podpory

5. 4. 2016

Důvěrnost údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Systémové označení dodávky dat

CEP17-GA0-GA-U/03:1

Datum dodání záznamu

28. 6. 2017

Celkové uznané náklady

8 535 tis. Kč

Výše podpory ze státního rozpočtu

8 535 tis. Kč

Ostatní veřejné zdroje financování

0 tis. Kč

Neveřejné tuz. a zahr. zdroje finan.

0 tis. Kč