Studium chování hybridního depozičního procesu a jeho využití pro přípravu tenkých vrstev
Veřejná podpora
Poskytovatel
Grantová agentura České republiky
Program
Postdoktorandské granty
Veřejná soutěž
Postdoktorandské granty 8 (SGA02008GA1PD)
Hlavní účastníci
—
Druh soutěže
VS - Veřejná soutěž
Číslo smlouvy
202/08/P038
Alternativní jazyk
Název projektu anglicky
Study of hybrid deposition process and its application for thin film deposition
Anotace anglicky
This project focuses on investigation of behaviour of hybrid PVD-PECVD process, which will be used for preparation of nanocomposite n-Ti:C/a-C:H and a-BCN:H materials. In this hybrid deposition process, a gaseous hydrocarbon will be used as a source of carbon instead of its conventional sputtering from magnetron target. Hysteresis behaviour of this process together with properties of deposited thin films will be investigated and compared with those of PVD process. Comparative study for two types of hydrocarbons will be performed. Advanced model of reactive sputtering assuming nonuniform discharge current density will be developed. This model will be extended to accommodate the interaction of gaseous hydrocarbon with all surfaces in the deposition
Vědní obory
Kategorie VaV
ZV - Základní výzkum
CEP - hlavní obor
BL - Fyzika plasmatu a výboje v plynech
CEP - vedlejší obor
—
CEP - další vedlejší obor
—
OECD FORD - odpovídající obory <br>(dle <a href="http://www.vyzkum.cz/storage/att/E6EF7938F0E854BAE520AC119FB22E8D/Prevodnik_oboru_Frascati.pdf">převodníku</a>)
10305 - Fluids and plasma physics (including surface physics)
Hodnocení dokončeného projektu
Hodnocení poskytovatelem
V - Vynikající výsledky projektu (s mezinárodním významem atd.)
Zhodnocení výsledků projektu
V rámci řešení projektu byl vyvinut hybridní PVD-PECVD proces, kdy dva konkurenční procesy přípravy tenkých vrstev ? magnetronové naprašování a PECVD ? byly provozovány současně. Bylo studováno chování tohoto hybridního procesu, kdy magnetronový terč by?
Termíny řešení
Zahájení řešení
1. 1. 2008
Ukončení řešení
31. 12. 2010
Poslední stav řešení
U - Ukončený projekt
Poslední uvolnění podpory
16. 4. 2010
Dodání dat do CEP
Důvěrnost údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Systémové označení dodávky dat
CEP11-GA0-GP-U/04:3
Datum dodání záznamu
20. 3. 2015
Finance
Celkové uznané náklady
1 125 tis. Kč
Výše podpory ze státního rozpočtu
1 125 tis. Kč
Ostatní veřejné zdroje financování
0 tis. Kč
Neveřejné tuz. a zahr. zdroje finan.
0 tis. Kč