Pokročilé laserové procesy výroby polovodičových desek
Veřejná podpora
Poskytovatel
Ministerstvo průmyslu a obchodu
Program
Operační program Technologie a aplikace pro konkurenceschopnost (2021-2027)
Veřejná soutěž
—
Hlavní účastníci
ON SEMICONDUCTOR CZECH REPUBLIC, s.r.o.
Druh soutěže
OP - Operační program EU
Číslo smlouvy
MPO 67183/26/21600
Alternativní jazyk
Název projektu anglicky
Advanced laser processing for semiconductor wafers manufacturing
Anotace anglicky
The objective of the project is to research and develop novel laser processes for semiconductor technologies, specifically for the processing of silicon carbide (SiC) wafers, as well as new characterization methodologies. Laser-based processes and technologies represent promising alternatives to current mechanical and chemical SiC processing methods. They offer the potential to significantly reduce manufacturing costs, process material consumption, and environmental impact. The development of new laser processes for SiC-based semiconductor technologies also requires novel methods for characterizing semiconductor wafer properties and manufacturing process parameters. Silicon carbide (SiC) is of critical importance in semiconductor applications involving very high power levels. Its exceptional hardness and chemical stability contribute to the high proportion of substrate costs in the overall cost of semiconductor devices. Laser technologies offer an alternative to conventional mechanical and chemical processing methods, with the potential to substantially reduce manufacturing costs and process material consumption.
Vědní obory
Kategorie VaV
AP - Aplikovaný výzkum
OECD FORD - hlavní obor
20501 - Materials engineering
OECD FORD - vedlejší obor
—
OECD FORD - další vedlejší obor
—
CEP - odpovídající obory <br>(dle <a href="http://www.vyzkum.cz/storage/att/E6EF7938F0E854BAE520AC119FB22E8D/Prevodnik_oboru_Frascati.pdf">převodníku</a>)
JG - Hutnictví, kovové materiály<br>JP - Průmyslové procesy a zpracování
Termíny řešení
Zahájení řešení
1. 7. 2025
Ukončení řešení
30. 6. 2028
Poslední stav řešení
Z - Začínající víceletý projekt
Poslední uvolnění podpory
—
Dodání dat do CEP
Důvěrnost údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Systémové označení dodávky dat
CEP25-MPO-EI-R
Datum dodání záznamu
19. 10. 2026
Finance
Celkové uznané náklady
88 160 tis. Kč
Výše podpory ze státního rozpočtu
0 tis. Kč
Ostatní veřejné zdroje financování
0 tis. Kč
Neveřejné tuz. a zahr. zdroje finan.
24 920 tis. Kč