Výzkum a vývoj nových pulzních plazmových technologií pro depozici pokročilých tenkovrstvých materiálů
Cíle projektu
Cílem projektu je rozvinout a implementovat do výrobní praxe nejpokročilejší, jen velmi nedávno publikované naprašovací technologie založené na metodě magnetronového naprašování s pulzy o vysokém výkonu (HiPIMS). Konkrétně jde o rychlou reaktivní HiPIMS depozici oxidových vrstev pro senzory, depozici tvrdých otěruvzdorných vrstev na nevodivé substráty a implementaci hybridní technologie HiPIMS s obloukovým odpařováním. Tyto inovativní technologie mohou významným způsobem posunout vpřed plazmatické depoziční technologie určené k přípravě materiálů se specifickými vlastnostmi a přispět k výrobě zcela nových produktů založených na nanotechnologiích. Potenciální aplikace jsou jak ve firmě HVM PLASMA, spol. s r.o., tak i v dalších firmách, neboť dopad cílů projektu může být daleko širší a ovlivnit i příbuzné obory, například vrstvy pro mikroelektroniku, ochranné a dekorativní povlaky, fotovoltaiku a podobně.
Klíčová slova
High power impulse magnetron sputtering (HiPIMS)Pulse technologiesArc evaporationThin film depositionNanoparticlesReactive sputteringIon energyPlasma diagnosticsInsulating substrateSensors
Veřejná podpora
Poskytovatel
Ministerstvo průmyslu a obchodu
Program
TRIO
Veřejná soutěž
TRIO 3 (SMPO201800001)
Hlavní účastníci
HVM PLASMA, spol. s r.o.
Druh soutěže
VS - Veřejná soutěž
Číslo smlouvy
2018FV30177
Alternativní jazyk
Název projektu anglicky
Research and development of novel pulsed plasma technologies for deposition of advanced thin-film materials
Anotace anglicky
The project aim is to develop and implement in the production practice most advanced, very recently published sputtering technologies based on High Power Impulse Magnetron Sputtering (HiPIMS) method. Specifically, it comprises fast reactive HiPIMS deposition of oxide layers for sensors, deposition of hard abrasion-resistant layers on non-conductive substrates and implementation of hybrid HiPIMS arc-evaporative technology. These innovative technologies can significantly advance plasma deposition technologies to prepare materials with specific properties and contribute to the production of entirely new nanotechnology-based products. Potential applications are not only in HVM PLASMA, spol. s r.o., but in other companies as well, as the impact of project objectives may be far broader and affect related fields, such as layers for microelectronics, protective and decorative coatings, photovoltaics and the like.
Vědní obory
Kategorie VaV
AP - Aplikovaný výzkum
OECD FORD - hlavní obor
20503 - Textiles; including synthetic dyes, colours, fibres (nanoscale materials to be 2.10; biomaterials to be 2.9)
OECD FORD - vedlejší obor
10305 - Fluids and plasma physics (including surface physics)
OECD FORD - další vedlejší obor
—
CEP - odpovídající obory
(dle převodníku)BK - Mechanika tekutin
BL - Fyzika plasmatu a výboje v plynech
JJ - Ostatní materiály
Hodnocení dokončeného projektu
Hodnocení poskytovatelem
U - Uspěl podle zadání (s publikovanými či patentovanými výsledky atd.)
Zhodnocení výsledků projektu
Projekt dosáhl stanovených cílů a výstupů projektu. Výsledkem řešení projektu je zdroj pro technologii HIPIMS s obloukovým odpařováním, magnetronově naprašovaný tenzometrický senzor, technologie - sensorická vrstva NiCr v tlakovém pnutí připravená pomocí HiPIMS s kladným pulzem na konci záporného pulzu na nevodivé substráty.
Termíny řešení
Zahájení řešení
1. 1. 2018
Ukončení řešení
31. 12. 2021
Poslední stav řešení
U - Ukončený projekt
Poslední uvolnění podpory
22. 3. 2021
Dodání dat do CEP
Důvěrnost údajů
C - Předmět řešení projektu podléhá obchodnímu tajemství (§ 504 Občanského zákoníku), ale název projektu, cíle projektu a u ukončeného nebo zastaveného projektu zhodnocení výsledku řešení projektu (údaje P03, P04, P15, P19, P29, PN8) dodané do CEP, jsou upraveny tak, aby byly zveřejnitelné.
Systémové označení dodávky dat
CEP22-MPO-FV-U
Datum dodání záznamu
12. 4. 2024
Finance
Celkové uznané náklady
12 706 tis. Kč
Výše podpory ze státního rozpočtu
9 000 tis. Kč
Ostatní veřejné zdroje financování
0 tis. Kč
Neveřejné tuz. a zahr. zdroje finan.
3 706 tis. Kč
Základní informace
Uznané náklady
12 706 tis. Kč
Statní podpora
9 000 tis. Kč
70%
Poskytovatel
Ministerstvo průmyslu a obchodu
OECD FORD
Textiles; including synthetic dyes, colours, fibres (nanoscale materials to be 2.10; biomaterials to be 2.9)
Doba řešení
01. 01. 2018 - 31. 12. 2021