Detektor úhlového rozdělení signálních elektronů v nízkoenergiovém mikroskopu

Poskytovatel

Grantová agentura České republiky

Program

Standardní projekty

Veřejná soutěž

Standardní projekty 1 (SGA02002GA-ST)

Hlavní účastníci

Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.

Druh soutěže

VS - Veřejná soutěž

Číslo smlouvy

—

Název projektu anglicky

Detector of the angular distribution of the signal electrons in low energy microscope

Anotace anglicky

The aim of this project is the design of the detector for the angle and energy-selective detection of signal electrons in a very low energy scanning electron microscope with a shorted integration time and increased speed of the signal processing. The detection of the signal beam by the area sensor makes it possible to use the .contrasts resulting from the interaction of the electron beam with the specimen to create a new image of the specimen The kernel of the detector will be the back side illuminateddirectly electron bombarded CCD sensor GCD39 with a high gain at an energy below 5 keV. By using this type of sensor the time to create one image of the specimen can be shorted down to 10 minutes. This makes it possible to use the detector fopractice microscopy observation of the solids and to extend the examination methods of scanning electron microscopy. Attention will be focused on three main fields which can be considered as three results of the project - design of the electronics

Kategorie VaV

—

CEP - hlavní obor

BM - Fyzika pevných látek a magnetismus

CEP - vedlejší obor

JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika

CEP - další vedlejší obor

JB - Senzory, čidla, měření a regulace

OECD FORD - odpovídající obory <br>(dle <a href="http://www.vyzkum.cz/storage/att/E6EF7938F0E854BAE520AC119FB22E8D/Prevodnik_oboru_Frascati.pdf">převodníku</a>)

10302 - Condensed matter physics (including formerly solid state physics, supercond.)<br>20201 - Electrical and electronic engineering

Hodnocení poskytovatelem

U - Uspěl podle zadání (s publikovanými či patentovanými výsledky atd.)

Zhodnocení výsledků projektu

Tento doktorandský projekt byl dobře formulován a jeho cíle byly splněny. Byl realizován nový detektor pro rastrovací elektronový mikroskop. Byly vyvinuty metody měření zesílení detektoru a určení temného proudu. Detektor se stane součástí nízkoenergiové

Zahájení řešení

1. 1. 2000

Ukončení řešení

1. 1. 2002

Poslední stav řešení

U - Ukončený projekt

Poslední uvolnění podpory

—

Důvěrnost údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Systémové označení dodávky dat

CEP/2003/GA0/GA03GA/U/N/9:7

Datum dodání záznamu

19. 5. 2008

Celkové uznané náklady

801 tis. Kč

Výše podpory ze státního rozpočtu

708 tis. Kč

Ostatní veřejné zdroje financování

0 tis. Kč

Neveřejné tuz. a zahr. zdroje finan.

0 tis. Kč