Tvorba obrazu v nízkoenergiovém rastrovacím elektronovém mikroskopu prostřednictvím snímání úhlového rozdělení signálních elektronů

Poskytovatel

Grantová agentura České republiky

Program

Standardní projekty

Veřejná soutěž

Standardní projekty 2 (SGA02003GA-ST)

Hlavní účastníci

Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.

Druh soutěže

VS - Veřejná soutěž

Číslo smlouvy

—

Název projektu anglicky

Acquisition of image in the low energy scanning electron microscope via detection of the angular distribution of signal electrons

Anotace anglicky

The aim of this project is to use the detection of the angular distribution of the signal electrons in low energy scanning electron microscope via planar image sensor for study of clean surfaces of crystalline specimens and for precise local measuring ofthe thickness of thin sputtered layers. To reach this aim we propose to use the arrangement with relatively high energy primary electrons whose energy is decelerated to the desired very low level only in close proximity to the specimen by the cathodelens. We propose to adapt ultra-high vacuum apparatus designed for the surface study of solids. We propose to complete this apparatus with the separator of the primary and signal electron beams of our own original design plus the multichannel planardetectorof signal electrons of our own design. The kernel of the detector is the thinned back-side illuminated directly electron bombarded CCD sensor with a high gain at energies of impigning electrons even below 5 keV. The detector is optimized for

Kategorie VaV

ZV - Základní výzkum

CEP - hlavní obor

BM - Fyzika pevných látek a magnetismus

CEP - vedlejší obor

JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika

CEP - další vedlejší obor

JB - Senzory, čidla, měření a regulace

OECD FORD - odpovídající obory <br>(dle <a href="http://www.vyzkum.cz/storage/att/E6EF7938F0E854BAE520AC119FB22E8D/Prevodnik_oboru_Frascati.pdf">převodníku</a>)

10302 - Condensed matter physics (including formerly solid state physics, supercond.)<br>20201 - Electrical and electronic engineering

Hodnocení poskytovatelem

U - Uspěl podle zadání (s publikovanými či patentovanými výsledky atd.)

Zhodnocení výsledků projektu

Byla navržena a zkonstruována elektronově-optická soustava rastrovacího elektronového mikroskopu s velmi nízkou energií elektronů. Pro získání nejnižších dopadových energií mikroskop využívá jedinečných vlastností katodové čočky, tj. brzdného potenciálu

Zahájení řešení

1. 1. 2003

Ukončení řešení

1. 1. 2005

Poslední stav řešení

U - Ukončený projekt

Poslední uvolnění podpory

—

Důvěrnost údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Systémové označení dodávky dat

CEP06-GA0-GA-U/07:6

Datum dodání záznamu

15. 1. 2009

Celkové uznané náklady

1 597 tis. Kč

Výše podpory ze státního rozpočtu

1 597 tis. Kč

Ostatní veřejné zdroje financování

0 tis. Kč

Neveřejné tuz. a zahr. zdroje finan.

0 tis. Kč